Γκοφρέτα σαπφείρου 12 ιντσών για κατασκευή ημιαγωγών μεγάλου όγκου
Λεπτομερές Διάγραμμα
Εισαγωγή γκοφρέτας σαπφείρου 12 ιντσών
Το πλακίδιο ζαφειριού 12 ιντσών έχει σχεδιαστεί για να καλύπτει την αυξανόμενη ζήτηση για κατασκευή ημιαγωγών και οπτοηλεκτρονικών μεγάλης επιφάνειας και υψηλής απόδοσης. Καθώς οι αρχιτεκτονικές συσκευών συνεχίζουν να κλιμακώνονται και οι γραμμές παραγωγής κινούνται προς μεγαλύτερες μορφές πλακιδίων, τα υποστρώματα ζαφειριού με εξαιρετικά μεγάλες διαμέτρους προσφέρουν σαφή πλεονεκτήματα στην παραγωγικότητα, τη βελτιστοποίηση της απόδοσης και τον έλεγχο του κόστους.
Κατασκευασμένες από μονοκρυσταλλικό Al₂O₃ υψηλής καθαρότητας, οι πλακέτες ζαφειριού 12 ιντσών συνδυάζουν εξαιρετική μηχανική αντοχή, θερμική σταθερότητα και ποιότητα επιφάνειας. Μέσω βελτιστοποιημένης ανάπτυξης κρυστάλλων και ακριβούς επεξεργασίας πλακιδίων, αυτά τα υποστρώματα προσφέρουν αξιόπιστη απόδοση για προηγμένες εφαρμογές LED, GaN και ειδικών ημιαγωγών.

Χαρακτηριστικά Υλικού
Το ζαφείρι (μονοκρυσταλλικό οξείδιο του αργιλίου, Al₂O₃) είναι γνωστό για τις εξαιρετικές φυσικές και χημικές του ιδιότητες. Τα πλακίδια ζαφειριού 12 ιντσών κληρονομούν όλα τα πλεονεκτήματα του υλικού ζαφειριού, παρέχοντας παράλληλα πολύ μεγαλύτερη ωφέλιμη επιφάνεια.
Τα βασικά χαρακτηριστικά του υλικού περιλαμβάνουν:
-
Εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά
-
Εξαιρετική θερμική σταθερότητα και υψηλό σημείο τήξης
-
Ανώτερη χημική αντοχή σε οξέα και αλκάλια
-
Υψηλή οπτική διαφάνεια από μήκη κύματος UV έως IR
-
Εξαιρετικές ιδιότητες ηλεκτρικής μόνωσης
Αυτά τα χαρακτηριστικά καθιστούν τις πλακέτες ζαφειριού 12 ιντσών κατάλληλες για σκληρά περιβάλλοντα επεξεργασίας και διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών υψηλής θερμοκρασίας.
Διαδικασία Παραγωγής
Η παραγωγή πλακιδίων ζαφειριού 12 ιντσών απαιτεί προηγμένες τεχνολογίες ανάπτυξης κρυστάλλων και επεξεργασίας εξαιρετικά ακριβείας. Η τυπική διαδικασία κατασκευής περιλαμβάνει:
-
Ανάπτυξη Μονοκρυστάλλου
Οι κρύσταλλοι ζαφειριού υψηλής καθαρότητας καλλιεργούνται χρησιμοποιώντας προηγμένες μεθόδους όπως το KY ή άλλες τεχνολογίες ανάπτυξης κρυστάλλων μεγάλης διαμέτρου, εξασφαλίζοντας ομοιόμορφο προσανατολισμό κρυστάλλων και χαμηλή εσωτερική τάση. -
Σχηματισμός και κοπή κρυστάλλων
Το πλινθώμα ζαφειριού διαμορφώνεται με ακρίβεια και κόβεται σε πλακίδια 12 ιντσών χρησιμοποιώντας εξοπλισμό κοπής υψηλής ακρίβειας για την ελαχιστοποίηση των ζημιών στο υπόστρωμα. -
Λεύκανση και στίλβωση
Εφαρμόζονται διαδικασίες λείανσης πολλαπλών σταδίων και χημικής μηχανικής στίλβωσης (CMP) για την επίτευξη εξαιρετικής τραχύτητας επιφάνειας, επιπεδότητας και ομοιομορφίας πάχους. -
Καθαρισμός και Επιθεώρηση
Κάθε πλακέτα ζαφειριού 12 ιντσών υποβάλλεται σε ενδελεχή καθαρισμό και αυστηρή επιθεώρηση, συμπεριλαμβανομένης της ποιότητας της επιφάνειας, της ανάλυσης TTV, του τόξου, του στημονιού και των ελαττωμάτων.
Εφαρμογές
Οι γκοφρέτες ζαφειριού 12 ιντσών χρησιμοποιούνται ευρέως σε προηγμένες και αναδυόμενες τεχνολογίες, όπως:
-
Υποστρώματα LED υψηλής ισχύος και φωτεινότητας
-
Συσκευές ισχύος με βάση το GaN και συσκευές RF
-
Φορέας ημιαγωγικού εξοπλισμού και μονωτικά υποστρώματα
-
Οπτικά παράθυρα και οπτικά εξαρτήματα μεγάλης επιφάνειας
-
Προηγμένη συσκευασία ημιαγωγών και ειδικοί μεταφορείς διεργασιών
Η μεγάλη διάμετρος επιτρέπει υψηλότερη απόδοση και βελτιωμένη οικονομική αποδοτικότητα στη μαζική παραγωγή.
Πλεονεκτήματα των γκοφρετών σαπφείρου 12 ιντσών
-
Μεγαλύτερη χρησιμοποιήσιμη περιοχή για υψηλότερη απόδοση συσκευής ανά πλακίδιο
-
Βελτιωμένη συνέπεια και ομοιομορφία της διαδικασίας
-
Μειωμένο κόστος ανά συσκευή σε παραγωγή μεγάλου όγκου
-
Εξαιρετική μηχανική αντοχή για χειρισμό μεγάλων διαστάσεων
-
Προσαρμόσιμες προδιαγραφές για διαφορετικές εφαρμογές

Επιλογές προσαρμογής
Προσφέρουμε ευέλικτη προσαρμογή για πλακίδια ζαφειριού 12 ιντσών, όπως:
-
Προσανατολισμός κρυστάλλου (επίπεδο C, επίπεδο A, επίπεδο R, κ.λπ.)
-
Ανοχή πάχους και διαμέτρου
-
Στίλβωση μονής ή διπλής όψης
-
Προφίλ ακμής και σχεδιασμός λοξοτομής
-
Απαιτήσεις τραχύτητας και επιπεδότητας επιφάνειας
| Παράμετρος | Προσδιορισμός | Σημειώσεις |
|---|---|---|
| Διάμετρος γκοφρέτας | 12 ίντσες (300 χιλ.) | Τυποποιημένη γκοφρέτα μεγάλης διαμέτρου |
| Υλικό | Μονοκρυσταλλικό ζαφείρι (Al₂O₃) | Υψηλής καθαρότητας, ηλεκτρονικής/οπτικής ποιότητας |
| Προσανατολισμός Κρυστάλλων | Επίπεδο C (0001), Επίπεδο A (11-20), Επίπεδο R (1-102) | Διατίθενται προαιρετικοί προσανατολισμοί |
| Πάχος | 430–500 μm | Προσαρμοσμένο πάχος διαθέσιμο κατόπιν αιτήματος |
| Ανοχή πάχους | ±10 μm | Αυστηρή ανοχή για προηγμένες συσκευές |
| Συνολική Μεταβολή Πάχους (TTV) | ≤10 μm | Εξασφαλίζει ομοιόμορφη επεξεργασία σε όλη την γκοφρέτα |
| Τόξο | ≤50 μm | Μετρημένο σε ολόκληρη την γκοφρέτα |
| Στημόνι | ≤50 μm | Μετρημένο σε ολόκληρη την γκοφρέτα |
| Φινίρισμα επιφάνειας | Γυαλισμένο μονής όψης (SSP) / Γυαλισμένο διπλής όψης (DSP) | Επιφάνεια υψηλής οπτικής ποιότητας |
| Τραχύτητα επιφάνειας (Ra) | ≤0,5 nm (γυαλισμένο) | Ομαλότητα σε ατομικό επίπεδο για επιταξιακή ανάπτυξη |
| Προφίλ ακμών | Λοξοτομή / Στρογγυλεμένη άκρη | Για την αποφυγή σπασίματος κατά τον χειρισμό |
| Ακρίβεια προσανατολισμού | ±0,5° | Εξασφαλίζει την σωστή ανάπτυξη του επιταξιακού στρώματος |
| Πυκνότητα ελαττωμάτων | <10 cm⁻² | Μετρήθηκε με οπτική επιθεώρηση |
| Ομαλότητα | ≤2 μm / 100 mm | Εξασφαλίζει ομοιόμορφη λιθογραφία και επιταξιακή ανάπτυξη |
| Καθαριότητα | Τάξη 100 – Τάξη 1000 | Συμβατό με καθαρούς χώρους |
| Οπτική μετάδοση | >85% (UV–IR) | Εξαρτάται από το μήκος κύματος και το πάχος |
Συχνές ερωτήσεις για το Wafer Sapphire 12 ιντσών
Ε1: Ποιο είναι το τυπικό πάχος μιας γκοφρέτας ζαφειριού 12 ιντσών;
Α: Το τυπικό πάχος κυμαίνεται από 430 μm έως 500 μm. Μπορούν επίσης να παραχθούν πάχη κατά παραγγελία σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη.
Ε2: Ποιοι προσανατολισμοί κρυστάλλου είναι διαθέσιμοι για πλακίδια ζαφειριού 12 ιντσών;
A: Προσφέρουμε προσανατολισμούς επιπέδου C (0001), επιπέδου A (11-20) και επιπέδου R (1-102). Άλλοι προσανατολισμοί μπορούν να προσαρμοστούν με βάση τις συγκεκριμένες απαιτήσεις της συσκευής.
Ε3: Ποια είναι η συνολική διακύμανση πάχους (TTV) του πλακιδίου;
Α: Οι πλακέτες ζαφειριού 12 ιντσών μας έχουν συνήθως TTV ≤10 μm, εξασφαλίζοντας ομοιομορφία σε ολόκληρη την επιφάνεια της πλακέτας για κατασκευή συσκευών υψηλής ποιότητας.
Σχετικά με εμάς
Η XKH ειδικεύεται στην ανάπτυξη, παραγωγή και πωλήσεις υψηλής τεχνολογίας ειδικού οπτικού γυαλιού και νέων κρυσταλλικών υλικών. Τα προϊόντα μας εξυπηρετούν οπτικά ηλεκτρονικά, ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης και τον στρατό. Προσφέρουμε οπτικά εξαρτήματα από ζαφείρι, καλύμματα φακών κινητών τηλεφώνων, κεραμικά, LT, SIC καρβιδίου πυριτίου, χαλαζία και κρυσταλλικά πλακίδια ημιαγωγών. Με εξειδικευμένη τεχνογνωσία και εξοπλισμό αιχμής, διαπρέπουμε στην επεξεργασία μη τυποποιημένων προϊόντων, με στόχο να γίνουμε μια κορυφαία επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας οπτοηλεκτρονικών υλικών.










