Υπόστρωμα SIC 12 ιντσών από καρβίδιο του πυριτίου, πρώτης ποιότητας, διάμετρος 300mm, μεγάλο μέγεθος 4H-N, κατάλληλο για απαγωγή θερμότητας συσκευών υψηλής ισχύος
Χαρακτηριστικά προϊόντος
1. Υψηλή θερμική αγωγιμότητα: η θερμική αγωγιμότητα του καρβιδίου του πυριτίου είναι περισσότερο από 3 φορές μεγαλύτερη από αυτή του πυριτίου, η οποία είναι κατάλληλη για απαγωγή θερμότητας συσκευών υψηλής ισχύος.
2. Υψηλή ένταση πεδίου διάσπασης: Η ένταση πεδίου διάσπασης είναι 10 φορές μεγαλύτερη από αυτή του πυριτίου, κατάλληλη για εφαρμογές υψηλής πίεσης.
3. Ευρύ ενεργειακό χάσμα: Το ενεργειακό χάσμα είναι 3,26 eV (4H-SiC), κατάλληλο για εφαρμογές υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής συχνότητας.
4. Υψηλή σκληρότητα: Η σκληρότητα Mohs είναι 9,2, δεύτερη μόνο μετά το διαμάντι, εξαιρετική αντοχή στη φθορά και μηχανική αντοχή.
5. Χημική σταθερότητα: ισχυρή αντοχή στη διάβρωση, σταθερή απόδοση σε υψηλής θερμοκρασίας και σκληρό περιβάλλον.
6. Μεγάλο μέγεθος: υπόστρωμα 12 ιντσών (300 mm), βελτίωση της αποδοτικότητας της παραγωγής, μείωση του κόστους μονάδας.
7. Χαμηλή πυκνότητα ελαττωμάτων: τεχνολογία ανάπτυξης μονοκρυστάλλων υψηλής ποιότητας για να εξασφαλιστεί χαμηλή πυκνότητα ελαττωμάτων και υψηλή συνοχή.
Κύρια κατεύθυνση εφαρμογής προϊόντος
1. Ηλεκτρονικά ισχύος:
MOSFET: Χρησιμοποιούνται σε ηλεκτρικά οχήματα, βιομηχανικούς κινητήρες και μετατροπείς ισχύος.
Δίοδοι: όπως οι δίοδοι Schottky (SBD), που χρησιμοποιούνται για αποτελεσματική ανόρθωση και μεταγωγή τροφοδοτικών.
2. Συσκευές RF:
Ενισχυτής ισχύος Rf: χρησιμοποιείται σε σταθμούς βάσης επικοινωνίας 5G και δορυφορικές επικοινωνίες.
Συσκευές μικροκυμάτων: Κατάλληλες για συστήματα ραντάρ και ασύρματης επικοινωνίας.
3. Νέα ενεργειακά οχήματα:
Ηλεκτρικά συστήματα κίνησης: ελεγκτές κινητήρων και μετατροπείς για ηλεκτρικά οχήματα.
Σωρός φόρτισης: Μονάδα ισχύος για εξοπλισμό γρήγορης φόρτισης.
4. Βιομηχανικές εφαρμογές:
Μετατροπέας υψηλής τάσης: για βιομηχανικό έλεγχο κινητήρων και διαχείριση ενέργειας.
Έξυπνο δίκτυο: Για μετασχηματιστές μετάδοσης HVDC και ηλεκτρονικών ισχύος.
5. Αεροδιαστημική:
Ηλεκτρονικά υψηλής θερμοκρασίας: κατάλληλα για περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας αεροδιαστημικού εξοπλισμού.
6. Ερευνητικό πεδίο:
Έρευνα ημιαγωγών με ευρύ ενεργειακό χάσμα: για την ανάπτυξη νέων ημιαγωγικών υλικών και διατάξεων.
Το υπόστρωμα καρβιδίου του πυριτίου 12 ιντσών είναι ένα είδος ημιαγωγικού υλικού υψηλής απόδοσης με εξαιρετικές ιδιότητες όπως υψηλή θερμική αγωγιμότητα, υψηλή ένταση πεδίου διάσπασης και ευρύ ενεργειακό χάσμα. Χρησιμοποιείται ευρέως σε ηλεκτρονικά ισχύος, συσκευές ραδιοσυχνοτήτων, οχήματα νέας ενέργειας, βιομηχανικό έλεγχο και αεροδιαστημική, και αποτελεί βασικό υλικό για την προώθηση της ανάπτυξης της επόμενης γενιάς αποδοτικών και υψηλής ισχύος ηλεκτρονικών συσκευών.
Ενώ τα υποστρώματα καρβιδίου του πυριτίου έχουν επί του παρόντος λιγότερες άμεσες εφαρμογές σε ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης, όπως τα γυαλιά AR, το δυναμικό τους στην αποτελεσματική διαχείριση ενέργειας και τα μικροσκοπικά ηλεκτρονικά θα μπορούσαν να υποστηρίξουν ελαφριές, υψηλής απόδοσης λύσεις τροφοδοσίας για μελλοντικές συσκευές AR/VR. Προς το παρόν, η κύρια ανάπτυξη υποστρώματος καρβιδίου του πυριτίου επικεντρώνεται σε βιομηχανικούς τομείς όπως τα νέα ενεργειακά οχήματα, οι υποδομές επικοινωνιών και ο βιομηχανικός αυτοματισμός, και προωθεί την ανάπτυξη της βιομηχανίας ημιαγωγών σε μια πιο αποτελεσματική και αξιόπιστη κατεύθυνση.
Η XKH έχει δεσμευτεί να παρέχει υψηλής ποιότητας υποστρώματα SIC 12" με ολοκληρωμένη τεχνική υποστήριξη και υπηρεσίες, όπως:
1. Προσαρμοσμένη παραγωγή: Σύμφωνα με τις ανάγκες του πελάτη, παρέχεται διαφορετική ειδική αντίσταση, κρυσταλλικός προσανατολισμός και υπόστρωμα επιφανειακής επεξεργασίας.
2. Βελτιστοποίηση διαδικασιών: Παροχή τεχνικής υποστήριξης στους πελάτες για την επιταξιακή ανάπτυξη, την κατασκευή συσκευών και άλλες διαδικασίες για τη βελτίωση της απόδοσης του προϊόντος.
3. Δοκιμή και πιστοποίηση: Παρέχετε αυστηρή ανίχνευση ελαττωμάτων και πιστοποίηση ποιότητας για να διασφαλίσετε ότι το υπόστρωμα πληροί τα βιομηχανικά πρότυπα.
4. Συνεργασία Ε&Α: Αναπτύξτε από κοινού νέες συσκευές καρβιδίου του πυριτίου με πελάτες για την προώθηση της τεχνολογικής καινοτομίας.
Γράφημα δεδομένων
Προδιαγραφή υποστρώματος καρβιδίου πυριτίου (SiC) 1,2 ιντσών | |||||
Βαθμός | Παραγωγή ZeroMPD Βαθμός (Βαθμός Ζ) | Τυπική Παραγωγή Βαθμός (Βαθμός Π) | Ψευδοβαθμολογία (Βαθμός Δ) | ||
Διάμετρος | 3 0 0 mm~305mm | ||||
Πάχος | 4H-N | 750μm±15 μm | 750μm±25 μm | ||
4H-SI | 750μm±15 μm | 750μm±25 μm | |||
Προσανατολισμός πλακιδίων | Εκτός άξονα: 4,0° προς <1120 >±0,5° για 4H-N, Στον άξονα: <0001>±0,5° για 4H-SI | ||||
Πυκνότητα μικροσωλήνων | 4H-N | ≤0,4cm-2 | ≤4cm-2 | ≤25cm-2 | |
4H-SI | ≤5cm-2 | ≤10cm-2 | ≤25cm-2 | ||
Αντίσταση | 4H-N | 0,015~0,024 Ω·cm | 0,015~0,028 Ω·cm | ||
4H-SI | ≥1E10 Ω·cm | ≥1E5 Ω·cm | |||
Πρωτεύων επίπεδος προσανατολισμός | {10-10} ±5,0° | ||||
Κύριο επίπεδο μήκος | 4H-N | Δ/Υ | |||
4H-SI | Εγκοπή | ||||
Εξαίρεση ακμής | 3 χιλιοστά | ||||
LTV/TTV/Τόξο /Στημόνι | ≤5μm/≤15μm/≤35μm/≤55μm | ≤5μm/≤15μm/≤35 □ μm/≤55 □ μm | |||
Τραχύτητα | Πολωνικό Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0,2 nm | Ra≤0,5 nm | ||||
Ρωγμές στις άκρες από φως υψηλής έντασης Πλάκες Hex με φως υψηλής έντασης Περιοχές πολυτύπου με φως υψηλής έντασης Οπτικές συμπεριλήψεις άνθρακα Γρατζουνιές επιφάνειας πυριτίου από φως υψηλής έντασης | Κανένας Συνολική περιοχή ≤0,05% Κανένας Συνολική περιοχή ≤0,05% Κανένας | Συνολικό μήκος ≤ 20 mm, ενιαίο μήκος ≤2 mm Συνολική επιφάνεια ≤0,1% Συνολική περιοχή ≤3% Συνολική περιοχή ≤3% Συνολικό μήκος ≤1×διάμετρος γκοφρέτας | |||
Τσιπς άκρων από φως υψηλής έντασης | Δεν επιτρέπεται πλάτος και βάθος ≥0,2 mm | Επιτρέπονται 7, ≤1 mm έκαστο | |||
(TSD) Μετατόπιση βίδας σπειρώματος | ≤500 cm-2 | Δ/Υ | |||
(BPD) Εξάρθρωση επιπέδου βάσης | ≤1000 cm-2 | Δ/Υ | |||
Μόλυνση επιφάνειας πυριτίου από φως υψηλής έντασης | Κανένας | ||||
Συσκευασία | Κασέτα πολλαπλών πλακιδίων ή δοχείο μονού πλακιδίου | ||||
Σημειώσεις: | |||||
1 Τα όρια ελαττωμάτων ισχύουν για ολόκληρη την επιφάνεια του πλακιδίου εκτός από την περιοχή αποκλεισμού ακμής. 2Οι γρατσουνιές θα πρέπει να ελέγχονται μόνο στην επιφάνεια Si. 3 Τα δεδομένα εξάρθρωσης προέρχονται μόνο από πλακίδια χαραγμένα με KOH. |
Η XKH θα συνεχίσει να επενδύει στην έρευνα και την ανάπτυξη για να προωθήσει την καινοτομία υποστρωμάτων καρβιδίου του πυριτίου 12 ιντσών σε μεγάλο μέγεθος, χαμηλά ελαττώματα και υψηλή συνοχή, ενώ η XKH διερευνά τις εφαρμογές της σε αναδυόμενους τομείς όπως τα ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης (όπως μονάδες ισχύος για συσκευές AR/VR) και η κβαντική υπολογιστική. Μειώνοντας το κόστος και αυξάνοντας την χωρητικότητα, η XKH θα φέρει ευημερία στη βιομηχανία ημιαγωγών.
Λεπτομερές Διάγραμμα


