Πλήρως αυτόματο πριόνι ακριβείας κοπής σε κύβους 12 ιντσών, ειδικό σύστημα κοπής Wafer για Si/SiC & HBM (Al)

Πλήρως αυτόματο σύστημα κοπής ακριβείας 12 ιντσών με γκοφρέτα για Si/SiC & HBM (Al) Προτεινόμενη εικόνα

Σύντομη Περιγραφή:

Ο πλήρως αυτόματος εξοπλισμός ακριβείας κοπής σε κύβους είναι ένα σύστημα κοπής υψηλής ακρίβειας που έχει αναπτυχθεί ειδικά για τη βιομηχανία ημιαγωγών και ηλεκτρονικών εξαρτημάτων. Ενσωματώνει προηγμένη τεχνολογία ελέγχου κίνησης και έξυπνη οπτική τοποθέτηση για την επίτευξη ακρίβειας επεξεργασίας σε επίπεδο μικρών. Αυτός ο εξοπλισμός είναι κατάλληλος για ακριβή κοπή σε κύβους διαφόρων σκληρών και εύθραυστων υλικών, όπως:
1. Υλικά ημιαγωγών: Πυρίτιο (Si), καρβίδιο του πυριτίου (SiC), αρσενικούχο γάλλιο (GaAs), υποστρώματα τανταλικού λιθίου/νιοβικού λιθίου (LT/LN), κ.λπ.
2. Υλικά συσκευασίας: Κεραμικά υποστρώματα, πλαίσια QFN/DFN, υποστρώματα συσκευασίας BGA.
3. Λειτουργικές Συσκευές: Φίλτρα επιφανειακών ακουστικών κυμάτων (SAW), θερμοηλεκτρικές μονάδες ψύξης, πλακίδια WLCSP.

Η XKH παρέχει υπηρεσίες δοκιμών συμβατότητας υλικών και προσαρμογής διεργασιών για να διασφαλίσει ότι ο εξοπλισμός ταιριάζει απόλυτα στις ανάγκες παραγωγής των πελατών, παρέχοντας βέλτιστες λύσεις τόσο για δείγματα Έρευνας και Ανάπτυξης όσο και για επεξεργασία σε παρτίδες.

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

Τεχνικές παράμετροι

Παράμετρος	Προσδιορισμός
Μέγεθος εργασίας	Φ8", Φ12"
Ατρακτος	Διπλός άξονας 1.2/1.8/2.4/3.0, Μέγιστο 60000 σ.α.λ.
Μέγεθος λεπίδας	2" ~ 3"
Άξονας Y1 / Y2	Αύξηση ενός βήματος: 0,0001 mm
	Ακρίβεια τοποθέτησης: < 0,002 mm
	Εύρος κοπής: 310 mm
Άξονας Χ	Εύρος ταχύτητας τροφοδοσίας: 0,1–600 mm/s
Άξονας Z1 / Z2	Αύξηση ενός βήματος: 0,0001 mm
Άξονας Z1 / Z2	Ακρίβεια τοποθέτησης: ≤ 0,001 mm
Άξονας θ	Ακρίβεια τοποθέτησης: ±15"
Σταθμός Καθαρισμού	Ταχύτητα περιστροφής: 100–3000 σ.α.λ.
Σταθμός Καθαρισμού	Μέθοδος καθαρισμού: Αυτόματο ξέβγαλμα και στύψιμο
Τάση λειτουργίας	3-φασικό 380V 50Hz
Διαστάσεις (ΠxΒxΥ)	1550×1255×1880 χιλ.
Βάρος	2100 κιλά

Αρχή λειτουργίας

Ο εξοπλισμός επιτυγχάνει κοπή υψηλής ακρίβειας μέσω των ακόλουθων τεχνολογιών:
1. Σύστημα άξονα υψηλής ακαμψίας: Ταχύτητα περιστροφής έως 60.000 σ.α.λ., εξοπλισμένο με λεπίδες διαμαντιών ή κεφαλές κοπής λέιζερ για προσαρμογή σε διαφορετικές ιδιότητες υλικών.

2. Έλεγχος κίνησης πολλαπλών αξόνων: Ακρίβεια τοποθέτησης άξονα X/Y/Z ±1μm, σε συνδυασμό με κλίμακες σχάρας υψηλής ακρίβειας για την εξασφάλιση διαδρομών κοπής χωρίς απόκλιση.

3. Έξυπνη Οπτική Ευθυγράμμιση: Το CCD υψηλής ανάλυσης (5 megapixel) αναγνωρίζει αυτόματα τους δρόμους κοπής και αντισταθμίζει την παραμόρφωση ή την κακή ευθυγράμμιση του υλικού.

4. Ψύξη & Αφαίρεση Σκόνης: Ενσωματωμένο σύστημα ψύξης καθαρού νερού και αφαίρεση σκόνης με αναρρόφηση κενού για ελαχιστοποίηση της θερμικής πρόσκρουσης και της μόλυνσης των σωματιδίων.

Λειτουργίες κοπής

1. Κοπή λεπίδων: Κατάλληλο για παραδοσιακά ημιαγωγικά υλικά όπως Si και GaAs, με πλάτος εγκοπής 50–100μm.

2. Stealth Laser Dicing: Χρησιμοποιείται για εξαιρετικά λεπτές πλακέτες (<100μm) ή εύθραυστα υλικά (π.χ., LT/LN), επιτρέποντας τον διαχωρισμό χωρίς τάσεις.

Τυπικές εφαρμογές

Συμβατό υλικό	Πεδίο εφαρμογής	Απαιτήσεις Επεξεργασίας
Πυρίτιο (Si)	Ολοκληρωμένα κυκλώματα, αισθητήρες MEMS	Υψηλής ακρίβειας κοπή, τεμαχισμός <10μm
Καρβίδιο του πυριτίου (SiC)	Συσκευές ισχύος (MOSFET/δίοδοι)	Κοπή με χαμηλή ζημιά, βελτιστοποίηση θερμικής διαχείρισης
Αρσενίδιο του γαλλίου (GaAs)	Συσκευές RF, οπτοηλεκτρονικά τσιπ	Πρόληψη μικρορωγμών, έλεγχος καθαριότητας
Υποστρώματα LT/LN	Φίλτρα SAW, οπτικοί διαμορφωτές	Κοπή χωρίς τάσεις, διατηρώντας τις πιεζοηλεκτρικές ιδιότητες
Κεραμικά υποστρώματα	Μονάδες ισχύος, συσκευασία LED	Επεξεργασία υλικού υψηλής σκληρότητας, επιπεδότητα ακμών
Πλαίσια QFN/DFN	Προηγμένη συσκευασία	Ταυτόχρονη κοπή πολλαπλών τσιπ, βελτιστοποίηση απόδοσης
Γκοφρέτες WLCSP	Συσκευασία σε επίπεδο γκοφρέτας	Κοπή σε κύβους εξαιρετικά λεπτών πλακιδίων (50μm) χωρίς ζημιές

Φόντα

1. Σάρωση καρέ κασέτας υψηλής ταχύτητας με συναγερμούς πρόληψης συγκρούσεων, γρήγορη τοποθέτηση μεταφοράς και ισχυρή δυνατότητα διόρθωσης σφαλμάτων.

2. Βελτιστοποιημένη λειτουργία κοπής διπλού άξονα, βελτιώνοντας την απόδοση κατά περίπου 80% σε σύγκριση με τα συστήματα μονού άξονα.

3. Βίδες με σφαιρίδια ακριβείας, γραμμικοί οδηγοί και έλεγχος κλειστού βρόχου κλίμακας κιγκλιδώματος άξονα Υ, εξασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη σταθερότητα της κατεργασίας υψηλής ακρίβειας.

4. Πλήρως αυτοματοποιημένη φόρτωση/εκφόρτωση, τοποθέτηση μεταφοράς, ευθυγράμμιση κοπής και επιθεώρηση εγκοπής, μειώνοντας σημαντικά το φόρτο εργασίας του χειριστή (OP).

5. Δομή στήριξης άξονα τύπου Gantry, με ελάχιστη απόσταση διπλής λεπίδας 24 mm, επιτρέποντας ευρύτερη προσαρμοστικότητα για διαδικασίες κοπής διπλής ατράκτου.

Χαρακτηριστικά

1. Μέτρηση ύψους υψηλής ακρίβειας χωρίς επαφή.

2. Κοπή διπλής λεπίδας πολλαπλών πλακιδίων σε ένα μόνο δίσκο.

3. Αυτόματη βαθμονόμηση, επιθεώρηση εγκοπής και συστήματα ανίχνευσης θραύσης λεπίδας.

4. Υποστηρίζει ποικίλες διαδικασίες με επιλέξιμους αλγόριθμους αυτόματης ευθυγράμμισης.

5. Λειτουργικότητα αυτοδιόρθωσης σφαλμάτων και παρακολούθηση πολλαπλών θέσεων σε πραγματικό χρόνο.

6. Δυνατότητα επιθεώρησης πρώτης κοπής μετά τον αρχικό τεμαχισμό.

7. Προσαρμόσιμες μονάδες αυτοματισμού εργοστασίων και άλλες προαιρετικές λειτουργίες.

Συμβατά υλικά

Υπηρεσίες Εξοπλισμού

Παρέχουμε ολοκληρωμένη υποστήριξη, από την επιλογή εξοπλισμού έως τη μακροπρόθεσμη συντήρηση:

(1) Προσαρμοσμένη Ανάπτυξη
· Προτείνετε λύσεις κοπής με λεπίδα/λέιζερ με βάση τις ιδιότητες των υλικών (π.χ. σκληρότητα SiC, ευθραυστότητα GaAs).

· Προσφέρετε δωρεάν δειγματοληπτικές δοκιμές για την επαλήθευση της ποιότητας κοπής (συμπεριλαμβανομένων των σπασιμάτων, του πλάτους της εγκοπής, της τραχύτητας της επιφάνειας κ.λπ.).

(2) Τεχνική Εκπαίδευση
· Βασική Εκπαίδευση: Λειτουργία εξοπλισμού, ρύθμιση παραμέτρων, τακτική συντήρηση.
· Προχωρημένα Μαθήματα: Βελτιστοποίηση διεργασιών για σύνθετα υλικά (π.χ., κοπή υποστρωμάτων LT χωρίς καταπονήσεις).

(3) Υποστήριξη μετά την πώληση
· Απόκριση 24/7: Απομακρυσμένη διάγνωση ή επιτόπια βοήθεια.
· Προμήθεια ανταλλακτικών: Άξονες, λεπίδες και οπτικά εξαρτήματα σε απόθεμα για γρήγορη αντικατάσταση.
· Προληπτική Συντήρηση: Τακτική βαθμονόμηση για τη διατήρηση της ακρίβειας και την παράταση της διάρκειας ζωής.

Τα πλεονεκτήματά μας

✔ Εμπειρία στον κλάδο: Εξυπηρετεί πάνω από 300 παγκόσμιους κατασκευαστές ημιαγωγών και ηλεκτρονικών ειδών.
✔ Τεχνολογία αιχμής: Οι ακριβείς γραμμικοί οδηγοί και τα σερβοσυστήματα εξασφαλίζουν κορυφαία σταθερότητα στον κλάδο.
✔ Παγκόσμιο Δίκτυο Υπηρεσιών: Κάλυψη στην Ασία, την Ευρώπη και τη Βόρεια Αμερική για τοπική υποστήριξη.
Για ερωτήσεις ή δοκιμές, επικοινωνήστε μαζί μας!