Πλίνθωμα SiC 2 ιντσών Dia50,8mmx10mmt 4H-N μονοκρύσταλλο
SiC Crystal Growth Technology
Τα χαρακτηριστικά του SiC καθιστούν δύσκολη την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων.Αυτό οφείλεται κυρίως στο γεγονός ότι δεν υπάρχει υγρή φάση με στοιχειομετρική αναλογία Si : C = 1 : 1 σε ατμοσφαιρική πίεση και δεν είναι δυνατό να αναπτυχθεί SiC με τις πιο ώριμες μεθόδους ανάπτυξης, όπως η μέθοδος άμεσης έλξης και η μέθοδος του χωνευτηρίου πτώσης, που είναι οι βασικοί άξονες της βιομηχανίας ημιαγωγών.Θεωρητικά, μια λύση με στοιχειομετρική αναλογία Si : C = 1 : 1 μπορεί να ληφθεί μόνο όταν η πίεση είναι μεγαλύτερη από 10E5atm και η θερμοκρασία είναι μεγαλύτερη από 3200℃.Επί του παρόντος, οι κύριες μέθοδοι περιλαμβάνουν τη μέθοδο PVT, τη μέθοδο υγρής φάσης και τη μέθοδο χημικής εναπόθεσης σε φάση ατμού υψηλής θερμοκρασίας.
Οι γκοφρέτες και οι κρύσταλλοι SiC που παρέχουμε αναπτύσσονται κυρίως με φυσική μεταφορά ατμών (PVT) και η παρακάτω είναι μια σύντομη εισαγωγή στο PVT:
Η μέθοδος μεταφοράς φυσικών ατμών (PVT) προήλθε από την τεχνική εξάχνωσης σε αέρια φάση που εφευρέθηκε από τον Lely το 1955, στην οποία η σκόνη SiC τοποθετείται σε ένα σωλήνα γραφίτη και θερμαίνεται σε υψηλή θερμοκρασία για να κάνει τη σκόνη SiC να αποσυντεθεί και να εξαχνωθεί και στη συνέχεια ο γραφίτης Ο σωλήνας ψύχεται και τα αποσυντιθέμενα συστατικά αέριας φάσης της σκόνης SiC εναποτίθενται και κρυσταλλώνονται ως κρύσταλλοι SiC στη γύρω περιοχή του σωλήνα γραφίτη.Αν και αυτή η μέθοδος είναι δύσκολο να αποκτηθούν μεγάλου μεγέθους μονοκρυστάλλοι SiC και η διαδικασία εναπόθεσης μέσα στο σωλήνα γραφίτη είναι δύσκολο να ελεγχθεί, παρέχει ιδέες για τους επόμενους ερευνητές.
YM Tairov et al.στη Ρωσία εισήγαγε την έννοια του κρυστάλλου σπόρων σε αυτή τη βάση, η οποία έλυσε το πρόβλημα του ανεξέλεγκτου σχήματος κρυστάλλου και της θέσης πυρήνωσης των κρυστάλλων SiC.Οι μετέπειτα ερευνητές συνέχισαν να βελτιώνουν και τελικά ανέπτυξαν τη μέθοδο φυσικής μεταφοράς ατμού (PVT) που χρησιμοποιείται βιομηχανικά σήμερα.
Ως η παλαιότερη μέθοδος ανάπτυξης κρυστάλλων SiC, το PVT είναι επί του παρόντος η πιο κύρια μέθοδος ανάπτυξης κρυστάλλων SiC.Σε σύγκριση με άλλες μεθόδους, αυτή η μέθοδος έχει χαμηλές απαιτήσεις για εξοπλισμό ανάπτυξης, απλή διαδικασία ανάπτυξης, ισχυρή δυνατότητα ελέγχου, ενδελεχή ανάπτυξη και έρευνα και έχει ήδη βιομηχανοποιηθεί.
Αναλυτικό Διάγραμμα
![asd (1)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-19.jpg)
![asd (2)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-29.jpg)
![asd (3)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-35.jpg)
![asd (4)](http://www.xkh-semitech.com/uploads/asd-42.jpg)