Ημιμονωτικά υποστρώματα Sic (HPSl) γκοφρέτες καρβιδίου του πυριτίου 3 ιντσών υψηλής καθαρότητας
Σκηνικά θέατρου
1. Φυσικές και Δομικές Ιδιότητες
●Τύπος υλικού: Καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας (Μη συμπληρωμένο) (SiC)
●Διάμετρος: 3 ίντσες (76,2 mm)
●Πάχος: 0,33-0,5 mm, προσαρμόσιμο με βάση τις απαιτήσεις της εφαρμογής.
●Κρυσταλλική Δομή: Πολυτύπος 4H-SiC με εξαγωνικό πλέγμα, γνωστό για υψηλή κινητικότητα ηλεκτρονίων και θερμική σταθερότητα.
●Προσανατολισμός:
oStandard: [0001] (C-plane), κατάλληλο για ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών.
o Προαιρετικά: Εκτός άξονα (4° ή 8° κλίση) για ενισχυμένη επιταξιακή ανάπτυξη των στρωμάτων της συσκευής.
●Επιπεδότητα: Διακύμανση συνολικού πάχους (TTV) ● Ποιότητα επιφάνειας:
o Γυαλισμένο σε o Χαμηλή πυκνότητα ελαττώματος (<10/cm² πυκνότητα μικροσωλήνων). 2. Ηλεκτρικές ιδιότητες ●Ειδική αντίσταση: >109^99 Ω·cm, που διατηρείται με την εξάλειψη σκόπιμων προσμείξεων.
●Διηλεκτρική αντοχή: Αντοχή υψηλής τάσης με ελάχιστες διηλεκτρικές απώλειες, ιδανική για εφαρμογές υψηλής ισχύος.
●Θερμική αγωγιμότητα: 3,5-4,9 W/cm·K, επιτρέποντας την αποτελεσματική απαγωγή θερμότητας σε συσκευές υψηλής απόδοσης.
3. Θερμικές και Μηχανικές Ιδιότητες
●Ευρύ διάκενο ζώνης: 3,26 eV, υποστήριξη λειτουργίας υπό συνθήκες υψηλής τάσης, υψηλής θερμοκρασίας και υψηλής ακτινοβολίας.
●Σκληρότητα: Κλίμακα Mohs 9, εξασφαλίζοντας στιβαρότητα έναντι μηχανικής φθοράς κατά την επεξεργασία.
●Συντελεστής θερμικής διαστολής: 4,2×10−6/K4,2 \times 10^{-6}/\text{K}4,2×10−6/K, εξασφαλίζοντας σταθερότητα διαστάσεων κάτω από διακυμάνσεις θερμοκρασίας.
Παράμετρος | Βαθμός Παραγωγής | Βαθμός Έρευνας | Ομοίωμα Βαθμού | Μονάδα |
Βαθμός | Βαθμός Παραγωγής | Βαθμός Έρευνας | Ομοίωμα Βαθμού | |
Διάμετρος | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | 76,2 ± 0,5 | mm |
Πάχος | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | μm |
Προσανατολισμός γκοφρέτας | Επί άξονα: <0001> ± 0,5° | Επί άξονα: <0001> ± 2,0° | Επί άξονα: <0001> ± 2,0° | βαθμός |
Πυκνότητα μικροσωλήνων (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Ηλεκτρική αντίσταση | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·εκ |
Dopant | Ανεκμετάλλευτη | Ανεκμετάλλευτη | Ανεκμετάλλευτη | |
Πρωτεύων Επίπεδος Προσανατολισμός | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | {1-100} ± 5,0° | βαθμός |
Πρωτεύον επίπεδο μήκος | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | 32,5 ± 3,0 | mm |
Δευτερεύον Επίπεδο Μήκος | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | 18,0 ± 2,0 | mm |
Δευτερεύων Επίπεδος Προσανατολισμός | 90° CW από πρωτεύον επίπεδο ± 5,0° | 90° CW από πρωτεύον επίπεδο ± 5,0° | 90° CW από πρωτεύον επίπεδο ± 5,0° | βαθμός |
Εξαίρεση άκρων | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV / TTV / Τόξο / Warp | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | μm |
Επιφανειακή τραχύτητα | Si-face: CMP, C-face: Polished | Si-face: CMP, C-face: Polished | Si-face: CMP, C-face: Polished | |
Ρωγμές (Φως υψηλής έντασης) | Κανένας | Κανένας | Κανένας | |
Εξαγωνικές πλάκες (φως υψηλής έντασης) | Κανένας | Κανένας | Σωρευτική επιφάνεια 10% | % |
Περιοχές πολυτύπου (Φως υψηλής έντασης) | Σωρευτική επιφάνεια 5% | Σωρευτική επιφάνεια 20% | Σωρευτική επιφάνεια 30% | % |
Γρατσουνιές (Φως υψηλής έντασης) | ≤ 5 γρατσουνιές, αθροιστικό μήκος ≤ 150 | ≤ 10 γρατσουνιές, αθροιστικό μήκος ≤ 200 | ≤ 10 γρατσουνιές, αθροιστικό μήκος ≤ 200 | mm |
Σκίσιμο άκρων | Κανένα ≥ 0,5 mm πλάτος/βάθος | 2 επιτρεπόμενα ≤ 1 mm πλάτος/βάθος | 5 επιτρεπόμενα ≤ 5 mm πλάτος/βάθος | mm |
Επιφανειακή μόλυνση | Κανένας | Κανένας | Κανένας |
Εφαρμογές
1. Ηλεκτρονικά Ισχύος
Το μεγάλο διάκενο και η υψηλή θερμική αγωγιμότητα των υποστρωμάτων HPSI SiC τα καθιστούν ιδανικά για συσκευές ισχύος που λειτουργούν σε ακραίες συνθήκες, όπως:
●Συσκευές Υψηλής Τάσης: Συμπεριλαμβανομένων MOSFET, IGBT και διόδων φραγμού Schottky (SBD) για αποτελεσματική μετατροπή ισχύος.
●Συστήματα Ανανεώσιμων Πηγών Ενέργειας: Όπως ηλιακοί μετατροπείς και ελεγκτές ανεμογεννητριών.
●Ηλεκτρικά οχήματα (EVs): Χρησιμοποιούνται σε μετατροπείς, φορτιστές και συστήματα μετάδοσης κίνησης για βελτίωση της απόδοσης και μείωση του μεγέθους.
2. Εφαρμογές ραδιοσυχνοτήτων και μικροκυμάτων
Η υψηλή ειδική αντίσταση και οι χαμηλές διηλεκτρικές απώλειες των πλακών HPSI είναι απαραίτητες για συστήματα ραδιοσυχνοτήτων (RF) και μικροκυμάτων, όπως:
●Τηλεπικοινωνιακή Υποδομή: Σταθμοί βάσης για δίκτυα 5G και δορυφορικές επικοινωνίες.
●Αεροδιαστημική και Άμυνα: Συστήματα ραντάρ, κεραίες με συστοιχία φάσεων και εξαρτήματα ηλεκτρονικών συστημάτων.
3. Οπτοηλεκτρονική
Η διαφάνεια και το ευρύ διάκενο του 4H-SiC επιτρέπουν τη χρήση του σε οπτοηλεκτρονικές συσκευές, όπως:
●Φωτοανιχνευτές UV: Για περιβαλλοντική παρακολούθηση και ιατρικά διαγνωστικά.
● LED υψηλής ισχύος: Υποστηρίζουν συστήματα φωτισμού στερεάς κατάστασης.
●Δίοδοι λέιζερ: Για βιομηχανικές και ιατρικές εφαρμογές.
4. Έρευνα και Ανάπτυξη
Τα υποστρώματα HPSI SiC χρησιμοποιούνται ευρέως σε ακαδημαϊκά και βιομηχανικά εργαστήρια Ε&Α για την εξερεύνηση προηγμένων ιδιοτήτων υλικών και κατασκευής συσκευών, όπως:
●Epitaxial Layer Growth: Μελέτες μείωσης ελαττωμάτων και βελτιστοποίησης στρώματος.
●Μελέτες Κινητικότητας Φορέων: Διερεύνηση μεταφοράς ηλεκτρονίων και οπών σε υλικά υψηλής καθαρότητας.
●Πρωτότυπο: Αρχική ανάπτυξη νέων συσκευών και κυκλωμάτων.
Φόντα
Ανώτερη ποιότητα:
Η υψηλή καθαρότητα και η χαμηλή πυκνότητα ελαττωμάτων παρέχουν μια αξιόπιστη πλατφόρμα για προηγμένες εφαρμογές.
Θερμική σταθερότητα:
Οι εξαιρετικές ιδιότητες απαγωγής θερμότητας επιτρέπουν στις συσκευές να λειτουργούν αποτελεσματικά σε συνθήκες υψηλής ισχύος και θερμοκρασίας.
Ευρεία συμβατότητα:
Οι διαθέσιμοι προσανατολισμοί και οι προσαρμοσμένες επιλογές πάχους εξασφαλίζουν προσαρμοστικότητα για διάφορες απαιτήσεις της συσκευής.
Αντοχή:
Η εξαιρετική σκληρότητα και η δομική σταθερότητα ελαχιστοποιούν τη φθορά και την παραμόρφωση κατά την επεξεργασία και τη λειτουργία.
Ευστροφία:
Κατάλληλο για ένα ευρύ φάσμα βιομηχανιών, από τις ανανεώσιμες πηγές ενέργειας έως την αεροδιαστημική και τις τηλεπικοινωνίες.
Σύναψη
Η γκοφρέτα υψηλής καθαρότητας ημιμονωτικού καρβιδίου πυριτίου 3 ιντσών αντιπροσωπεύει την κορυφή της τεχνολογίας υποστρώματος για οπτοηλεκτρονικές συσκευές υψηλής ισχύος, υψηλής συχνότητας και συχνότητας. Ο συνδυασμός εξαιρετικών θερμικών, ηλεκτρικών και μηχανικών ιδιοτήτων του εξασφαλίζει αξιόπιστη απόδοση σε δύσκολα περιβάλλοντα. Από τα ηλεκτρονικά ισχύος και τα συστήματα ραδιοσυχνοτήτων μέχρι την οπτοηλεκτρονική και την προηγμένη Ε&Α, αυτά τα υποστρώματα HPSI παρέχουν τη βάση για τις αυριανές καινοτομίες.
Για περισσότερες πληροφορίες ή για παραγγελία, παρακαλούμε επικοινωνήστε μαζί μας. Η τεχνική ομάδα μας είναι διαθέσιμη για να παρέχει καθοδήγηση και επιλογές προσαρμογής προσαρμοσμένες στις ανάγκες σας.