Γκοφρέτα LNOI νιοβάτη λιθίου 4 ιντσών 6 ιντσών με μεμβράνη μονοκρυστάλλου
Η διαδικασία προετοιμασίας των υλικών LNOI χωρίζεται κυρίως στα ακόλουθα τέσσερα στάδια
(1) Τα ιόντα του εγχύθηκαν στο υλικό νιοβικού λιθίου με κοπή με μια ορισμένη ενέργεια και εισήχθησαν στο ελαττωματικό στρώμα σε ένα ορισμένο βάθος κάτω από το επιφανειακό στρώμα του νιοβικού λιθίου.
(2) Το εμφυτευμένο με ιόν υλικό νιοβικό λίθιο συνδέεται με ένα υπόστρωμα πυριτίου με ένα στρώμα οξειδίου για να σχηματίσει μια δομή σύνδεσης.
(3) Η δομή σύνδεσης ανοπτήθηκε για να γίνουν τα ελαττώματα που εισήχθησαν από την εμφύτευση ιόντων ΗΕ να εξελιχθούν και να συσσωματωθούν για να σχηματίσουν ρωγμές. Τέλος, το νιοβικό λίθιο διαχωρίστηκε κατά μήκος του στρώματος ελαττώματος για να σχηματίσει τις υπολειμματικές φέτες νιοβικού λιθίου και τις γκοφρέτες LNOI.
Εφαρμογές και πλεονεκτήματα της γκοφρέτας LNOI
1--Οι πιεζοηλεκτρικές μεμβράνες νιοβικού λιθίου (LNOI) έχουν υψηλό πιεζοηλεκτρικό συντελεστή και διηλεκτρική σταθερά, οι οποίες μπορούν να μετατρέψουν τη μηχανική ενέργεια σε ηλεκτρική ενέργεια ή την ηλεκτρική ενέργεια σε μηχανική ενέργεια. Ως εκ τούτου, χρησιμοποιείται ευρέως στον τομέα των αισθητήρων, όπως αισθητήρες πίεσης, αισθητήρες επιτάχυνσης, αισθητήρες θερμοκρασίας και ούτω καθεξής. Επιπλέον, το πιεζοηλεκτρικό φιλμ νιοβικού λιθίου μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί σε ακουστικές συσκευές και συσκευές δόνησης, όπως σύνθετο πιεζοηλεκτρικό κεραμικό φίλτρο πιεζοηλεκτρικού κεραμικού μετατροπέα.
2-Η σταθερότητα του πιεζοηλεκτρικού φιλμ νιοβικού λιθίου είναι επίσης ένα από τα πλεονεκτήματά του. Λόγω της σταθερότητας της κρυσταλλικής δομής και της χημικής αδράνειας, η πιεζοηλεκτρική μεμβράνη νιοβικού λιθίου μπορεί να λειτουργήσει σε υψηλή θερμοκρασία, υψηλή υγρασία, ισχυρό οξύ, ισχυρό αλκάλιο και άλλο σκληρό περιβάλλον, με καλή αντοχή στη διάβρωση και ανθεκτικότητα.
Το πιεζοηλεκτρικό φιλμ νιοβικού λιθίου 3 είναι ένα νέο πιεζοηλεκτρικό υλικό με εξαιρετική απόδοση και σταθερότητα και έχει ευρεία προοπτική εφαρμογής. Με τη συνεχή ανάπτυξη της επιστήμης και της τεχνολογίας, το πιεζοηλεκτρικό φιλμ νιοβικού λιθίου θα εφαρμοστεί σε περισσότερες πόλεις, φέρνοντας περισσότερη άνεση και καινοτομία στη ζωή των ανθρώπων