Γκοφρέτες υποστρώματος HPSI SiC 6 ιντσών Καρβίδιο πυριτίου Ημι-προσβλητικές γκοφρέτες SiC

Οι τρέχουσες μέθοδοι ανάπτυξης για μονοκρύσταλλο SiC περιλαμβάνουν κυρίως τις ακόλουθες τρεις: μέθοδο υγρής φάσης, μέθοδο χημικής εναπόθεσης ατμών σε υψηλή θερμοκρασία και μέθοδο μεταφοράς φυσικής φάσης ατμού (PVT). Μεταξύ αυτών, η μέθοδος PVT είναι η πιο ερευνημένη και ώριμη τεχνολογία για την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων SiC και οι τεχνικές δυσκολίες της είναι:

(1) μονοκρύσταλλος SiC στην υψηλή θερμοκρασία των 2300 ° C πάνω από τον κλειστό θάλαμο γραφίτη για την ολοκλήρωση της διαδικασίας ανακρυστάλλωσης μετατροπής "στερεό - αέριο - στερεό", ο κύκλος ανάπτυξης είναι μακρύς, δύσκολος στον έλεγχο και επιρρεπής σε μικροσωληνίσκους, εγκλείσματα και άλλα ελαττώματα.

(2) μονοκρύσταλλο καρβιδίου του πυριτίου, συμπεριλαμβανομένων περισσότερων από 200 διαφορετικών τύπων κρυστάλλων, αλλά η παραγωγή γενικού μόνο τύπου κρυστάλλου, εύκολος στην παραγωγή μετασχηματισμού κρυστάλλου στη διαδικασία ανάπτυξης με αποτέλεσμα ελαττώματα εγκλεισμών πολλαπλών τύπων, η διαδικασία προετοιμασίας ενός συγκεκριμένος τύπος κρυστάλλου είναι δύσκολο να ελεγχθεί η σταθερότητα της διαδικασίας, για παράδειγμα, η τρέχουσα κύρια ροή του τύπου 4H.

(3) Το θερμικό πεδίο ανάπτυξης μονού κρυστάλλου καρβιδίου του πυριτίου υπάρχει μια κλίση θερμοκρασίας, με αποτέλεσμα στη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων να υπάρχει μια φυσική εσωτερική τάση και να προκαλούνται οι προκύπτουσες εξαρθρώσεις, σφάλματα και άλλα ελαττώματα.

(4) Η διαδικασία ανάπτυξης μονού κρυστάλλου καρβιδίου του πυριτίου πρέπει να ελέγχει αυστηρά την εισαγωγή εξωτερικών ακαθαρσιών, έτσι ώστε να λαμβάνεται ένας ημιμονωτικός κρύσταλλος πολύ υψηλής καθαρότητας ή κατευθυντικός αγώγιμος κρύσταλλος. Για τα ημιμονωτικά υποστρώματα καρβιδίου του πυριτίου που χρησιμοποιούνται σε συσκευές ραδιοσυχνοτήτων, οι ηλεκτρικές ιδιότητες πρέπει να επιτυγχάνονται με τον έλεγχο της πολύ χαμηλής συγκέντρωσης ακαθαρσιών και συγκεκριμένων τύπων σημειακών ελαττωμάτων στον κρύσταλλο.