Γκοφρέτα πυριτίου τύπου N ή P 6 ιντσών από CZ Si
Εισαγωγή του κουτιού γκοφρέτας
Οι προδιαγραφές της γκοφρέτας πυριτίου:
Ανάπτυξη πλακιδίων πυριτίου 6 ιντσών: CZ, MCZ, FZ.
6 Βαθμός γκοφρέτας πυριτίου: Prime, Test, Dummy, κ.λπ.
Διάμετρος πλακιδίου πυριτίου 6 ιντσών: 6 ίντσες/150 χιλιοστά.
Πάχος πλακιδίου πυριτίου 6 ιντσών: 200~ 3000 μm.
Φινίρισμα γκοφρέτας πυριτίου 6 ιντσών: Όπως κόβεται, επικαλύπτεται, χαράζεται, SSP, DSP, κ.λπ.
Προσανατολισμός πλακιδίων πυριτίου 6 ιντσών: (100) (111) (110) (531) (553) κ.λπ.
Γκοφρέτα πυριτίου 6 ιντσών, κοπή έως 4 μοίρες.
Τύπος/Πρόσθετο δισκίου πυριτίου 6 ιντσών: P/B, N/Phos, N/As, N/Sb, Εγγενές.
Αντίσταση πλακέτας πυριτίου 6 ιντσών: CZ/MCZ: Από 0,001 έως 1000 ohm-cm. FZ: έως 20k ohm-cm.
Λεπτές μεμβράνες πυριτίου 6 ιντσών: (α)PVD: Al, Cu, Au, Cr, Si, Ni;, Fe, Mo. κ.λπ., Πάχη επίστρωσης έως 20.000A/5%.
(β) LPCVD/PECVD: Οξείδιο, Νιτρίδιο, siC, κ.λπ., Πάχη επίστρωσης έως 200.000A/3%.
(γ) Επιταξιακές πλακέτες πυριτίου και επιταξιακές υπηρεσίες (SOS, GaN, GOI κ.λπ.).
Διεργασίες πλακιδίων πυριτίου 6 ιντσών: a.DSP, εξαιρετικά λεπτό, εξαιρετικά επίπεδο, κ.λπ.
β. Μείωση μεγέθους, λείανση με αντίστροφη όδευση, κοπή σε κύβους, κ.λπ. γ. MEMS.
Από το 2010, η Shanghai XKH Material Tech. Co.,Ltd έχει δεσμευτεί να παρέχει στους πελάτες ολοκληρωμένες λύσεις για πλακίδια πυριτίου 4 ιντσών, από πλακίδια επιπέδου εντοπισμού σφαλμάτων Dummy Wafer, πλακίδια επιπέδου δοκιμής Test Wafer, έως πλακίδια επιπέδου προϊόντος Prime Wafer, καθώς και ειδικές πλακέτες, πλακίδια οξειδίου, πλακίδια νιτριδίου Si3N4, πλακίδια επιμεταλλωμένα με αλουμίνιο, πλακίδια πυριτίου επιμεταλλωμένα με χαλκό, πλακίδια SOI, γυαλί MEMS, προσαρμοσμένες εξαιρετικά παχιές και εξαιρετικά επίπεδες πλακέτες κ.λπ., με μεγέθη που κυμαίνονται από 50mm-300mm, και μπορούμε να παρέχουμε πλακίδια ημιαγωγών με στίλβωση, αραίωση, κοπή σε κύβους, MEMS και άλλες υπηρεσίες επεξεργασίας και προσαρμογής μονής/διπλής όψης.
Λεπτομερές Διάγραμμα


