Ο τύπος N/P γκοφρέτας SiC Epitaxiy 6 ιντσών δέχεται προσαρμοσμένες

Η διαδικασία παρασκευής επιταξιακής γκοφρέτας από καρβίδιο του πυριτίου είναι μια μέθοδος που χρησιμοποιεί την τεχνολογία χημικής εναπόθεσης ατμών (CVD). Τα ακόλουθα είναι οι σχετικές τεχνικές αρχές και τα βήματα της διαδικασίας παρασκευής:

Τεχνική αρχή:

Χημική εναπόθεση ατμών: Χρησιμοποιώντας την πρώτη ύλη ως αέριο στην αέρια φάση, υπό συγκεκριμένες συνθήκες αντίδρασης, αποσυντίθεται και εναποτίθεται στο υπόστρωμα για να σχηματίσει την επιθυμητή λεπτή μεμβράνη.

Αντίδραση αέριας φάσης: Μέσω πυρόλυσης ή αντίδρασης πυρόλυσης, διάφορα αέρια πρώτης ύλης στην αέρια φάση μεταβάλλονται χημικά στον θάλαμο αντίδρασης.

Βήματα διαδικασίας προετοιμασίας:

Επεξεργασία υποστρώματος: Το υπόστρωμα υποβάλλεται σε επιφανειακό καθαρισμό και προεπεξεργασία για να διασφαλιστεί η ποιότητα και η κρυσταλλικότητα του επιταξιακού πλακιδίου.

Αποσφαλμάτωση θαλάμου αντίδρασης: ρυθμίστε τη θερμοκρασία, την πίεση και τον ρυθμό ροής του θαλάμου αντίδρασης και άλλες παραμέτρους για να εξασφαλίσετε τη σταθερότητα και τον έλεγχο των συνθηκών αντίδρασης.

Προμήθεια πρώτων υλών: τροφοδοτήστε τον θάλαμο αντίδρασης με τις απαραίτητες αέριες πρώτες ύλες, αναμειγνύοντας και ελέγχοντας τον ρυθμό ροής όπως απαιτείται.

Διαδικασία αντίδρασης: Με τη θέρμανση του θαλάμου αντίδρασης, η αέρια πρώτη ύλη υφίσταται χημική αντίδραση στον θάλαμο για να παραχθεί το επιθυμητό ίζημα, δηλαδή μεμβράνη καρβιδίου του πυριτίου.

Ψύξη και εκκένωση: Στο τέλος της αντίδρασης, η θερμοκρασία μειώνεται σταδιακά για να ψυχθούν και να στερεοποιηθούν οι αποθέσεις στον θάλαμο αντίδρασης.

Επιταξιακή ανόπτηση και μετεπεξεργασία πλακιδίων: το εναποτιθέμενο επιταξιακό πλακίδιο υποβάλλεται σε ανόπτηση και μετεπεξεργασία για τη βελτίωση των ηλεκτρικών και οπτικών του ιδιοτήτων.

Τα συγκεκριμένα βήματα και οι συνθήκες της διαδικασίας παρασκευής επιταξιακών πλακιδίων από καρβίδιο του πυριτίου ενδέχεται να διαφέρουν ανάλογα με τον συγκεκριμένο εξοπλισμό και τις απαιτήσεις. Τα παραπάνω αποτελούν μόνο μια γενική ροή και αρχή της διαδικασίας, η συγκεκριμένη λειτουργία πρέπει να προσαρμόζεται και να βελτιστοποιείται ανάλογα με την πραγματική κατάσταση.