Υπόστρωμα SiC 4H-N για πλακίδια SiC 8 ιντσών, παραγωγικής ποιότητας
Ο παρακάτω πίνακας δείχνει τις προδιαγραφές των πλακιδίων SiC 8 ιντσών:
| Προδιαγραφές DSP SiC τύπου N 8 ιντσών | |||||
| Αριθμός | Είδος | Μονάδα | Παραγωγή | Ερευνα | Ανδρείκελο |
| 1: παράμετροι | |||||
| 1.1 | πολυτυπία | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | προσανατολισμός επιφάνειας | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
| 2: Ηλεκτρική παράμετρος | |||||
| 2.1 | πρόσμιξη | -- | Άζωτο τύπου n | Άζωτο τύπου n | Άζωτο τύπου n |
| 2.2 | ειδική αντίσταση | ωμ · εκατοστά | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Μηχανική παράμετρος | |||||
| 3.1 | διάμετρος | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | πάχος | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Προσανατολισμός εγκοπής | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
| 3.4 | Βάθος εγκοπής | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm*10mm) | ≤5 (10mm*10mm) | ≤10 (10mm*10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Τόξο | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Στημόνι | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Δομή | |||||
| 4.1 | πυκνότητα μικροσωλήνων | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | περιεκτικότητα σε μέταλλο | άτομα/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | Ορθοδοντική Διαταραχή (ΔΔΔ) | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | ΑΠΛΩΝΩ ΧΟΡΤΑ | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Ποιότητα μπροστινής όψης | |||||
| 5.1 | εμπρός | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | φινίρισμα επιφάνειας | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | σωματίδιο | γκοφρέτα | ≤100 (μέγεθος ≥0,3μm) | NA | NA |
| 5.4 | γρατσουνιά | γκοφρέτα | ≤5, Συνολικό μήκος ≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Ακρη σπασίματα/εσοχές/ρωγμές/λεκέδες/μόλυνση | -- | Κανένας | Κανένας | NA |
| 5.6 | Περιοχές πολυτύπων | -- | Κανένας | Εμβαδόν ≤10% | Εμβαδόν ≤30% |
| 5.7 | μπροστινή σήμανση | -- | Κανένας | Κανένας | Κανένας |
| 6: Ποιότητα πίσω όψης | |||||
| 6.1 | πίσω φινίρισμα | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
| 6.2 | γρατσουνιά | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Ελαττώματα πίσω πλευράς τσιπς/εσοχές | -- | Κανένας | Κανένας | NA |
| 6.4 | Τραχύτητα πλάτης | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Πίσω σήμανση | -- | Εγκοπή | Εγκοπή | Εγκοπή |
| 7: άκρη | |||||
| 7.1 | άκρη | -- | Λοξότμηση | Λοξότμηση | Λοξότμηση |
| 8:Πακέτο | |||||
| 8.1 | συσκευασία | -- | Έτοιμο για χρήση σε περιβάλλον Epi με ηλεκτρική σκούπα συσκευασία | Έτοιμο για χρήση σε περιβάλλον Epi με ηλεκτρική σκούπα συσκευασία | Έτοιμο για χρήση σε περιβάλλον Epi με ηλεκτρική σκούπα συσκευασία |
| 8.2 | συσκευασία | -- | Πολυ-γκοφρέτα συσκευασία κασέτας | Πολυ-γκοφρέτα συσκευασία κασέτας | Πολυ-γκοφρέτα συσκευασία κασέτας |
Λεπτομερές Διάγραμμα
Γράψτε το μήνυμά σας εδώ και στείλτε το σε εμάς