Δισκίο πυριτίου 8 ιντσών τύπου P/N (100) 1-100Ω, υπόστρωμα ομοίωμα ανάκτησης
Εισαγωγή του κουτιού γκοφρέτας
Η πλακέτα πυριτίου 8 ιντσών είναι ένα συνήθως χρησιμοποιούμενο υλικό υποστρώματος πυριτίου και χρησιμοποιείται ευρέως στη διαδικασία κατασκευής ολοκληρωμένων κυκλωμάτων. Τέτοιες πλακέτες πυριτίου χρησιμοποιούνται συνήθως για την κατασκευή διαφόρων τύπων ολοκληρωμένων κυκλωμάτων, συμπεριλαμβανομένων μικροεπεξεργαστών, τσιπ μνήμης, αισθητήρων και άλλων ηλεκτρονικών συσκευών. Οι πλακέτες πυριτίου 8 ιντσών χρησιμοποιούνται συνήθως για την κατασκευή τσιπ σχετικά μεγάλων μεγεθών, με πλεονεκτήματα όπως η μεγαλύτερη επιφάνεια και η δυνατότητα κατασκευής περισσότερων τσιπ σε μία μόνο πλακέτα πυριτίου, γεγονός που οδηγεί σε αυξημένη αποδοτικότητα παραγωγής. Η πλακέτα πυριτίου 8 ιντσών έχει επίσης καλές μηχανικές και χημικές ιδιότητες, γεγονός που την καθιστά κατάλληλη για παραγωγή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων μεγάλης κλίμακας.
Χαρακτηριστικά προϊόντος
8" τύπου P/N, γυαλισμένη γκοφρέτα πυριτίου (25 τεμ.)
Προσανατολισμός: 200
Αντίσταση: 0,1 - 40 ohm•cm (Μπορεί να διαφέρει από παρτίδα σε παρτίδα)
Πάχος: 725+/-20um
Βαθμός Prime/Monitor/Test
ΙΔΙΟΤΗΤΕΣ ΥΛΙΚΩΝ
Παράμετρος | Χαρακτηριστικός |
Τύπος/Πρόσθετο | P, Βόριο N, Φώσφορος N, Αντιμόνιο N, Αρσενικό |
Προσανατολισμοί | <100>, <111> κόβουν τους προσανατολισμούς σύμφωνα με τις προδιαγραφές του πελάτη |
Περιεκτικότητα σε οξυγόνο | 1019ppmA Προσαρμοσμένες ανοχές ανά προδιαγραφή πελάτη |
Περιεκτικότητα σε άνθρακα | < 0,6 ppmA |
ΜΗΧΑΝΙΚΕΣ ΙΔΙΟΤΗΤΕΣ
Παράμετρος | Πρώτος | Παρακολούθηση/Δοκιμή Α | Δοκιμή |
Διάμετρος | 200±0,2 χιλιοστά | 200 ± 0,2 χιλιοστά | 200 ± 0,5 χιλ. |
Πάχος | 725±20µm (στάνταρ) | 725±25µm (στάνταρ) 450±25µm 625±25µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (στάνταρ) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Τόξο | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Κάλυμμα | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Στρογγυλοποίηση άκρων | ΗΜΙ-ΣΥΝΗΘΙΣΜΕΝΟ | ||
Βαθμολόγηση | Μόνο κύρια ημιεπίπεδη, ημιεπίπεδη Jeida επίπεδη, εγκοπή |
Παράμετρος | Πρώτος | Παρακολούθηση/Δοκιμή Α | Δοκιμή |
Κριτήρια μπροστινής πλευράς | |||
Κατάσταση επιφάνειας | Χημικά Μηχανικά Γυαλισμένα | Χημικά Μηχανικά Γυαλισμένα | Χημικά Μηχανικά Γυαλισμένα |
Τραχύτητα επιφάνειας | < 2 A° | < 2 A° | < 2 A° |
Μόλυνση Σωματίδια @ >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Ομίχλη, Λάκκοι Φλούδα πορτοκαλιού | Κανένας | Κανένας | Κανένας |
Πριόνι, Σημάδια Ραβδώσεις | Κανένας | Κανένας | Κανένας |
Κριτήρια πίσω όψης | |||
Ρωγμές, σημάδια από πριόνι, λεκέδες | Κανένας | Κανένας | Κανένας |
Κατάσταση επιφάνειας | Καυστική χαραγμένη |
Λεπτομερές Διάγραμμα


