Πλήρως αυτόματος εξοπλισμός κοπής δακτυλίων γκοφρέτας, μέγεθος εργασίας 8 ιντσών/12 ιντσών

Σύντομη Περιγραφή:

Η XKH έχει αναπτύξει ανεξάρτητα ένα πλήρως αυτόματο σύστημα κοπής άκρων πλακιδίων (wafer), το οποίο αντιπροσωπεύει μια προηγμένη λύση σχεδιασμένη για διαδικασίες κατασκευής ημιαγωγών στο μπροστινό μέρος. Αυτός ο εξοπλισμός ενσωματώνει καινοτόμο τεχνολογία σύγχρονου ελέγχου πολλαπλών αξόνων και διαθέτει σύστημα ατράκτου υψηλής ακαμψίας (μέγιστη ταχύτητα περιστροφής: 60.000 RPM), παρέχοντας ακριβές κόψιμο άκρων με ακρίβεια κοπής έως ±5μm. Το σύστημα επιδεικνύει εξαιρετική συμβατότητα με διάφορα υποστρώματα ημιαγωγών, όπως ενδεικτικά:
1. Δισκία πυριτίου (Si): Κατάλληλα για επεξεργασία ακμών δισκίων 8-12 ιντσών.
2. Σύνθετοι ημιαγωγοί: Υλικά ημιαγωγών τρίτης γενιάς όπως GaAs και SiC.
3. Ειδικά υποστρώματα: Πιεζοηλεκτρικά πλακίδια υλικού, συμπεριλαμβανομένων των LT/LN.

Ο αρθρωτός σχεδιασμός υποστηρίζει την ταχεία αντικατάσταση πολλαπλών αναλώσιμων, συμπεριλαμβανομένων των διαμαντένιων λεπίδων και των κεφαλών κοπής με λέιζερ, με συμβατότητα που υπερβαίνει τα βιομηχανικά πρότυπα. Για εξειδικευμένες απαιτήσεις διεργασιών, παρέχουμε ολοκληρωμένες λύσεις που περιλαμβάνουν:
· Προμήθεια ειδικών αναλώσιμων κοπής
· Υπηρεσίες επεξεργασίας κατά παραγγελία
· Λύσεις βελτιστοποίησης παραμέτρων διεργασίας

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

Τεχνικές παράμετροι

Παράμετρος	Μονάδα	Προσδιορισμός
Μέγιστο μέγεθος τεμαχίου εργασίας	mm	ø12"
Ατρακτος	Διαμόρφωση	Μονή άτρακτος
	Ταχύτητα	3.000–60.000 σ.α.λ.
	Ισχύς εξόδου	1,8 kW (2,4 προαιρετικά) στις 30.000 λεπτά⁻¹
	Μέγιστη διάμετρος λεπίδας.	Ø58 χιλ.
Άξονας Χ	Εύρος κοπής	310 χιλιοστά
Άξονας Υ	Εύρος κοπής	310 χιλιοστά
	Βήμα αύξησης	0,0001 χιλιοστά
	Ακρίβεια τοποθέτησης	≤0,003 mm/310 mm, ≤0,002 mm/5 mm (μονό σφάλμα)
Άξονας Z	Επίλυση Κινήματος	0,00005 χιλιοστά
Άξονας Z	Επαναληψιμότητα	0,001 χιλιοστά
θ-Άξονας	Μέγιστη περιστροφή	380 μοίρες
Τύπος άξονα		Μονός άξονας, εξοπλισμένος με άκαμπτη λεπίδα για κοπή δακτυλίων
Ακρίβεια κοπής δακτυλίου	μm	±50
Ακρίβεια τοποθέτησης πλακιδίων	μm	±50
Απόδοση ενός μόνο γκοφρέτας	λεπτό/γκοφρέτα	8
Απόδοση πολλαπλών πλακιδίων		Έως και 4 γκοφρέτες επεξεργάζονται ταυτόχρονα
Βάρος εξοπλισμού	kg	≈3.200
Διαστάσεις εξοπλισμού (ΠxΒxΥ)	mm	2.730 × 1.550 × 2.070

Αρχή Λειτουργίας

Το σύστημα επιτυγχάνει εξαιρετική απόδοση κουρέματος μέσω αυτών των βασικών τεχνολογιών:

1. Έξυπνο σύστημα ελέγχου κίνησης:
· Γραμμική κίνηση κινητήρα υψηλής ακρίβειας (ακρίβεια επαναλαμβανόμενης τοποθέτησης: ±0,5μm)
· Σύγχρονος έλεγχος έξι αξόνων που υποστηρίζει πολύπλοκο σχεδιασμό τροχιάς
· Αλγόριθμοι καταστολής κραδασμών σε πραγματικό χρόνο που διασφαλίζουν σταθερότητα κοπής

2. Προηγμένο σύστημα ανίχνευσης:
· Ενσωματωμένος αισθητήρας ύψους λέιζερ 3D (ακρίβεια: 0,1μm)
· Οπτική τοποθέτηση CCD υψηλής ανάλυσης (5 megapixel)
· Ηλεκτρονική ενότητα επιθεώρησης ποιότητας

3. Πλήρως αυτοματοποιημένη διαδικασία:
· Αυτόματη φόρτωση/εκφόρτωση (συμβατή με την τυπική διεπαφή FOUP)
· Έξυπνο σύστημα διαλογής
· Μονάδα καθαρισμού κλειστού βρόχου (καθαριότητα: Κλάση 10)

Τυπικές εφαρμογές

Αυτός ο εξοπλισμός προσφέρει σημαντική αξία σε όλες τις εφαρμογές κατασκευής ημιαγωγών:

Πεδίο εφαρμογής	Υλικά επεξεργασίας	Τεχνικά πλεονεκτήματα
Κατασκευή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων	8/12" γκοφρέτες πυριτίου	Βελτιώνει την ευθυγράμμιση της λιθογραφίας
Συσκευές τροφοδοσίας	Δισκία SiC/GaN	Αποτρέπει τα ελαττώματα στις άκρες
Αισθητήρες MEMS	SOI Wafers	Εξασφαλίζει την αξιοπιστία της συσκευής
Συσκευές RF	Γκοφρέτες GaAs	Βελτιώνει την απόδοση στις υψηλές συχνότητες
Προηγμένη Συσκευασία	Ανασυσταμένες γκοφρέτες	Αυξάνει την απόδοση συσκευασίας

Χαρακτηριστικά

1. Διαμόρφωση τεσσάρων σταθμών για υψηλή απόδοση επεξεργασίας.
2. Σταθερή αποκόλληση και αφαίρεση δακτυλίου TAIKO.
3. Υψηλή συμβατότητα με βασικά αναλώσιμα.
4. Η τεχνολογία σύγχρονης κοπής πολλαπλών αξόνων εξασφαλίζει κοπή ακριβείας στις άκρες.
5. Η πλήρως αυτοματοποιημένη ροή διεργασιών μειώνει σημαντικά το κόστος εργασίας.
6. Ο προσαρμοσμένος σχεδιασμός του τραπεζιού εργασίας επιτρέπει τη σταθερή επεξεργασία ειδικών δομών.

Συναρτήσεις

1. Σύστημα ανίχνευσης πτώσης δακτυλίου.
2. Αυτόματος καθαρισμός τραπεζιού εργασίας
3. Ευφυές σύστημα αποκόλλησης UV.
4. Καταγραφή καταγραφής λειτουργίας
5. Ενσωμάτωση μονάδας αυτοματισμού εργοστασίου.

Δέσμευση Υπηρεσίας

Η XKH παρέχει ολοκληρωμένες υπηρεσίες υποστήριξης πλήρους κύκλου ζωής, σχεδιασμένες για τη μεγιστοποίηση της απόδοσης του εξοπλισμού και της λειτουργικής αποδοτικότητας καθ' όλη τη διάρκεια της παραγωγικής σας διαδικασίας.
1. Υπηρεσίες Προσαρμογής
· Προσαρμοσμένη Διαμόρφωση Εξοπλισμού: Η ομάδα μηχανικών μας συνεργάζεται στενά με τους πελάτες για τη βελτιστοποίηση των παραμέτρων του συστήματος (ταχύτητα κοπής, επιλογή λεπίδας κ.λπ.) με βάση συγκεκριμένες ιδιότητες υλικών (Si/SiC/GaAs) και απαιτήσεις διεργασίας.
· Υποστήριξη Ανάπτυξης Διαδικασιών: Προσφέρουμε επεξεργασία δειγμάτων με λεπτομερείς αναφορές ανάλυσης, συμπεριλαμβανομένης της μέτρησης τραχύτητας ακμών και της χαρτογράφησης ελαττωμάτων.
· Συν-Ανάπτυξη Αναλώσιμων: Για νέα υλικά (π.χ., Ga₂O₃), συνεργαζόμαστε με κορυφαίους κατασκευαστές αναλώσιμων για την ανάπτυξη λεπίδων/οπτικών λέιζερ ειδικών για εφαρμογές.

2. Επαγγελματική Τεχνική Υποστήριξη
· Εξειδικευμένη Υποστήριξη Επιτόπου: Ανάθεση σε πιστοποιημένους μηχανικούς για κρίσιμες φάσεις έναρξης (συνήθως 2-4 εβδομάδες), καλύπτοντας:
Βαθμονόμηση εξοπλισμού και βελτιστοποίηση διεργασιών
Εκπαίδευση επάρκειας χειριστή
Οδηγίες ενσωμάτωσης σε καθαρούς χώρους ISO Κλάσης 5
· Προγνωστική Συντήρηση: Τριμηνιαίοι έλεγχοι εύρυθμης λειτουργίας με ανάλυση κραδασμών και διαγνωστικά σερβοκινητήρα για την αποφυγή μη προγραμματισμένων διακοπών λειτουργίας.
· Απομακρυσμένη παρακολούθηση: Παρακολούθηση της απόδοσης του εξοπλισμού σε πραγματικό χρόνο μέσω της πλατφόρμας IoT (JCFront Connect®) με αυτοματοποιημένες ειδοποιήσεις ανωμαλιών.

3. Υπηρεσίες προστιθέμενης αξίας
· Βάση Γνώσεων Διαδικασιών: Πρόσβαση σε 300+ επικυρωμένες συνταγές κοπής για διάφορα υλικά (ενημερώνονται ανά τρίμηνο).
· Ευθυγράμμιση Τεχνολογικού Χάρτη Πορείας: Προετοιμάστε την επένδυσή σας για το μέλλον με διαδρομές αναβάθμισης υλικού/λογισμικού (π.χ., μονάδα ανίχνευσης ελαττωμάτων που βασίζεται σε τεχνητή νοημοσύνη).
· Αντιμετώπιση έκτακτης ανάγκης: Εγγυημένη απομακρυσμένη διάγνωση εντός 4 ωρών και 48ωρη επιτόπια παρέμβαση (παγκόσμια κάλυψη).

4. Υποδομή Υπηρεσιών
· Εγγύηση Απόδοσης: Συμβατική δέσμευση για ≥98% χρόνο λειτουργίας εξοπλισμού με χρόνους απόκρισης που υποστηρίζονται από Σύμβαση Παροχής Υπηρεσιών (SLA).

Συνεχής Βελτίωση

Διεξάγουμε εξαμηνιαίες έρευνες ικανοποίησης πελατών και εφαρμόζουμε πρωτοβουλίες Kaizen για τη βελτίωση της παροχής υπηρεσιών. Η ομάδα Έρευνας και Ανάπτυξης (R&D) μας μετατρέπει τις επιτόπιες γνώσεις σε αναβαθμίσεις εξοπλισμού - το 30% των βελτιώσεων στο υλικολογισμικό προέρχεται από τα σχόλια των πελατών.