Με τη συνεχή ανάπτυξη της τεχνολογίας ημιαγωγών, στη βιομηχανία ημιαγωγών, ακόμη και στη βιομηχανία φωτοβολταϊκών, οι απαιτήσεις για την ποιότητα της επιφάνειας του υποστρώματος ή του επιταξιακού φύλλου είναι επίσης πολύ αυστηρές.Λοιπόν, ποιες είναι οι απαιτήσεις ποιότητας για τις γκοφρέτες;Λαμβάνοντας ως παράδειγμα τις γκοφρέτες από ζαφείρι, ποιοι δείκτες μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την αξιολόγηση της ποιότητας επιφάνειας των γκοφρετών;
Ποιοι είναι οι δείκτες αξιολόγησης της γκοφρέτας;
Οι τρεις δείκτες
Για τις γκοφρέτες από ζαφείρι, οι δείκτες αξιολόγησής τους είναι η απόκλιση ολικού πάχους (TTV), η κάμψη (Τόξο) και το στημόνι (Warp).Αυτές οι τρεις παράμετροι μαζί αντικατοπτρίζουν την ομοιομορφία της επιπεδότητας και του πάχους της γκοφρέτας πυριτίου και μπορούν να μετρήσουν τον βαθμό κυματισμού της γκοφρέτας.Η αυλάκωση μπορεί να συνδυαστεί με την επιπεδότητα για να αξιολογηθεί η ποιότητα της επιφάνειας της γκοφρέτας.
Τι είναι το TTV, BOW, Warp;
TTV (Παραλλαγή Συνολικού Πάχους)
Το TTV είναι η διαφορά μεταξύ του μέγιστου και του ελάχιστου πάχους μιας γκοφρέτας.Αυτή η παράμετρος είναι ένας σημαντικός δείκτης που χρησιμοποιείται για τη μέτρηση της ομοιομορφίας του πάχους του πλακιδίου.Σε μια διαδικασία ημιαγωγών, το πάχος της γκοφρέτας πρέπει να είναι πολύ ομοιόμορφο σε όλη την επιφάνεια.Οι μετρήσεις γίνονται συνήθως σε πέντε θέσεις στη γκοφρέτα και η διαφορά υπολογίζεται.Τελικά, αυτή η τιμή είναι μια σημαντική βάση για να κρίνουμε την ποιότητα της γκοφρέτας.
Τόξο
Το τόξο στην κατασκευή ημιαγωγών αναφέρεται στην κάμψη μιας γκοφρέτας, απελευθερώνοντας την απόσταση μεταξύ του μεσαίου σημείου μιας πλακέτας χωρίς σύσφιξη και του επιπέδου αναφοράς.Η λέξη πιθανότατα προέρχεται από μια περιγραφή του σχήματος ενός αντικειμένου όταν είναι λυγισμένο, όπως το κυρτό σχήμα ενός τόξου.Η τιμή Bow ορίζεται με τη μέτρηση της απόκλισης μεταξύ του κέντρου και της άκρης του πλακιδίου πυριτίου.Αυτή η τιμή εκφράζεται συνήθως σε μικρόμετρα (μm).
Στημόνι
Το Warp είναι μια καθολική ιδιότητα των πλακιδίων που μετρά τη διαφορά μεταξύ της μέγιστης και της ελάχιστης απόστασης μεταξύ του μέσου μιας ελεύθερα μη σφιγμένης γκοφρέτας και του επιπέδου αναφοράς.Αντιπροσωπεύει την απόσταση από την επιφάνεια της γκοφρέτας πυριτίου στο επίπεδο.
Ποια είναι η διαφορά μεταξύ TTV, Bow, Warp;
Το TTV εστιάζει στις αλλαγές στο πάχος και δεν ασχολείται με την κάμψη ή την παραμόρφωση της γκοφρέτας.
Το τόξο εστιάζει στη συνολική κάμψη, λαμβάνοντας κυρίως υπόψη την κάμψη του κεντρικού σημείου και της άκρης.
Το στημόνι είναι πιο ολοκληρωμένο, συμπεριλαμβανομένου του λυγισμού και της συστροφής ολόκληρης της επιφάνειας της γκοφρέτας.
Αν και αυτές οι τρεις παράμετροι σχετίζονται με το σχήμα και τις γεωμετρικές ιδιότητες της πλακέτας πυριτίου, μετρώνται και περιγράφονται διαφορετικά, ενώ η επίδρασή τους στη διεργασία ημιαγωγών και στην επεξεργασία του πλακιδίου είναι επίσης διαφορετική.
Όσο μικρότερες είναι οι τρεις παράμετροι, τόσο το καλύτερο, και όσο μεγαλύτερη είναι η παράμετρος, τόσο μεγαλύτερη είναι η αρνητική επίδραση στη διαδικασία ημιαγωγών.Ως εκ τούτου, ως επαγγελματίας ημιαγωγών, πρέπει να συνειδητοποιήσουμε τη σημασία των παραμέτρων προφίλ πλακιδίων για ολόκληρη τη διαδικασία της διαδικασίας, να κάνουμε τη διαδικασία ημιαγωγών, να δώσουμε προσοχή στις λεπτομέρειες.
(λογοκρισία)
Ώρα δημοσίευσης: Ιουν-24-2024