Με τη συνεχή ανάπτυξη της τεχνολογίας ημιαγωγών, στη βιομηχανία ημιαγωγών και ακόμη και στη φωτοβολταϊκή βιομηχανία, οι απαιτήσεις για την ποιότητα της επιφάνειας του υποστρώματος πλακιδίων ή του επιταξιακού φύλλου είναι επίσης πολύ αυστηρές. Ποιες είναι λοιπόν οι απαιτήσεις ποιότητας για τα πλακίδια;γκοφρέτα ζαφειριούΓια παράδειγμα, ποιοι δείκτες μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την αξιολόγηση της ποιότητας της επιφάνειας των πλακιδίων;
Ποιοι είναι οι δείκτες αξιολόγησης των πλακιδίων;
Οι τρεις δείκτες
Για τα πλακίδια ζαφειριού, οι δείκτες αξιολόγησής τους είναι η συνολική απόκλιση πάχους (TTV), η κάμψη (Bow) και η στρέβλωση (Warp). Αυτές οι τρεις παράμετροι μαζί αντικατοπτρίζουν την επιπεδότητα και την ομοιομορφία πάχους του πλακιδίου πυριτίου και μπορούν να μετρήσουν τον βαθμό κυματισμού του πλακιδίου. Η κυματοειδής διαμόρφωση μπορεί να συνδυαστεί με την επιπεδότητα για την αξιολόγηση της ποιότητας της επιφάνειας του πλακιδίου.
Τι είναι το TTV, το BOW, το Warp;
TTV (Συνολική Διακύμανση Πάχους)
Το TTV είναι η διαφορά μεταξύ του μέγιστου και του ελάχιστου πάχους μιας πλακέτας. Αυτή η παράμετρος είναι ένας σημαντικός δείκτης που χρησιμοποιείται για τη μέτρηση της ομοιομορφίας του πάχους της πλακέτας. Σε μια διεργασία ημιαγωγών, το πάχος της πλακέτας πρέπει να είναι πολύ ομοιόμορφο σε ολόκληρη την επιφάνεια. Οι μετρήσεις γίνονται συνήθως σε πέντε σημεία της πλακέτας και υπολογίζεται η διαφορά. Τελικά, αυτή η τιμή αποτελεί σημαντική βάση για την αξιολόγηση της ποιότητας της πλακέτας.
Τόξο
Ο όρος «τόξο» στην κατασκευή ημιαγωγών αναφέρεται στην κάμψη μιας πλακέτας πυριτίου, η οποία απελευθερώνει την απόσταση μεταξύ του μέσου σημείου μιας μη ασφαλισμένης πλακέτας και του επιπέδου αναφοράς. Η λέξη πιθανώς προέρχεται από μια περιγραφή του σχήματος ενός αντικειμένου όταν αυτό είναι λυγισμένο, όπως το καμπύλο σχήμα ενός τόξου. Η τιμή του τόξου ορίζεται μετρώντας την απόκλιση μεταξύ του κέντρου και της άκρης της πλακέτας πυριτίου. Αυτή η τιμή εκφράζεται συνήθως σε μικρόμετρα (µm).
Στημόνι
Η στρέβλωση είναι μια καθολική ιδιότητα των πλακιδίων που μετρά τη διαφορά μεταξύ της μέγιστης και της ελάχιστης απόστασης μεταξύ του μέσου ενός ελεύθερα αποσυνδεδεμένου πλακιδίου και του επιπέδου αναφοράς. Αντιπροσωπεύει την απόσταση από την επιφάνεια του πλακιδίου πυριτίου έως το επίπεδο.
Ποια είναι η διαφορά μεταξύ TTV, Bow, Warp;
Το TTV εστιάζει στις αλλαγές στο πάχος και δεν ασχολείται με την κάμψη ή την παραμόρφωση του πλακιδίου.
Το τόξο εστιάζει στη συνολική κάμψη, λαμβάνοντας κυρίως υπόψη την κάμψη του κεντρικού σημείου και της άκρης.
Η στρέβλωση είναι πιο ολοκληρωμένη, συμπεριλαμβανομένης της κάμψης και της συστροφής ολόκληρης της επιφάνειας της πλακέτας.
Αν και αυτές οι τρεις παράμετροι σχετίζονται με το σχήμα και τις γεωμετρικές ιδιότητες του πλακιδίου πυριτίου, μετρώνται και περιγράφονται διαφορετικά, και η επίδρασή τους στη διαδικασία ημιαγωγών και στην επεξεργασία πλακιδίων είναι επίσης διαφορετική.
Όσο μικρότερες είναι οι τρεις παράμετροι, τόσο το καλύτερο, και όσο μεγαλύτερη είναι η παράμετρος, τόσο μεγαλύτερος είναι ο αρνητικός αντίκτυπος στη διαδικασία ημιαγωγών. Επομένως, ως επαγγελματίας ημιαγωγών, πρέπει να συνειδητοποιήσουμε τη σημασία των παραμέτρων του προφίλ πλακιδίων για ολόκληρη τη διαδικασία, η διαδικασία ημιαγωγών πρέπει να δώσει προσοχή στις λεπτομέρειες.
(λογοκρισία)
Ώρα δημοσίευσης: 24 Ιουνίου 2024