Κατά την εξέταση ημιαγωγών πλακιδίων πυριτίου ή υποστρωμάτων κατασκευασμένων από άλλα υλικά, συχνά συναντάμε τεχνικούς δείκτες όπως: TTV, BOW, WARP και πιθανώς TIR, STIR, LTV, μεταξύ άλλων. Ποιες παραμέτρους αντιπροσωπεύουν αυτές;
TTV — Συνολική Μεταβολή Πάχους
Τόξο — Τόξο
WARP — Warp
TIR — Συνολική Ενδεικτική Ένδειξη
ΑΝΑΔΕΥΣΗ — Συνολική Ενδεικτική Μέτρηση Σημείου
LTV — Τοπική μεταβολή πάχους
1. Συνολική Μεταβολή Πάχους — TTV
Η διαφορά μεταξύ του μέγιστου και του ελάχιστου πάχους της πλακέτας σε σχέση με το επίπεδο αναφοράς όταν η πλακέτα είναι στερεωμένη και σε στενή επαφή. Εκφράζεται γενικά σε μικρόμετρα (μm), που συχνά αναπαρίστανται ως: ≤15 μm.
2. Τόξο — Τόξο
Η απόκλιση μεταξύ της ελάχιστης και της μέγιστης απόστασης από το κεντρικό σημείο της επιφάνειας της πλακέτας έως το επίπεδο αναφοράς όταν η πλακέτα βρίσκεται σε ελεύθερη (μη συσφιγμένη) κατάσταση. Αυτό περιλαμβάνει τόσο τις κοίλες (αρνητική καμπύλη) όσο και τις κυρτές (θετική καμπύλη) περιπτώσεις. Συνήθως εκφράζεται σε μικρόμετρα (μm), που συχνά αναπαρίστανται ως: ≤40 μm.
3. Στημόνι — ΣΤΗΜΟΝΙ
Η απόκλιση μεταξύ της ελάχιστης και της μέγιστης απόστασης από την επιφάνεια της πλακέτας έως το επίπεδο αναφοράς (συνήθως την πίσω επιφάνεια της πλακέτας) όταν η πλακέτα βρίσκεται σε ελεύθερη (μη συμπιεσμένη) κατάσταση. Αυτό περιλαμβάνει τόσο τις κοίλες (αρνητική στρέβλωση) όσο και τις κυρτές (θετική στρέβλωση) περιπτώσεις. Εκφράζεται γενικά σε μικρόμετρα (μm), που συχνά αναπαρίστανται ως: ≤30 μm.
4. Συνολική Ενδεικτική Ένδειξη — TIR
Όταν η πλακέτα είναι στερεωμένη και σε στενή επαφή, χρησιμοποιώντας ένα επίπεδο αναφοράς που ελαχιστοποιεί το άθροισμα των σημείων τομής όλων των σημείων εντός της περιοχής ποιότητας ή μιας συγκεκριμένης τοπικής περιοχής στην επιφάνεια της πλακέτας, το TIR είναι η απόκλιση μεταξύ της μέγιστης και της ελάχιστης απόστασης από την επιφάνεια της πλακέτας σε αυτό το επίπεδο αναφοράς.
Βασισμένη σε βαθιά εξειδίκευση σε προδιαγραφές υλικών ημιαγωγών όπως TTV, BOW, WARP και TIR, η XKH παρέχει υπηρεσίες ακριβείας για την επεξεργασία πλακιδίων, προσαρμοσμένες στα αυστηρότερα βιομηχανικά πρότυπα. Παρέχουμε και υποστηρίζουμε ένα ευρύ φάσμα υλικών υψηλής απόδοσης, όπως ζαφείρι, καρβίδιο του πυριτίου (SiC), πλακίδια πυριτίου, SOI και χαλαζία, εξασφαλίζοντας εξαιρετική επιπεδότητα, συνέπεια πάχους και ποιότητα επιφάνειας για προηγμένες εφαρμογές στην οπτοηλεκτρονική, τις συσκευές ισχύος και τα MEMS. Εμπιστευτείτε μας για την παροχή αξιόπιστων λύσεων υλικών και ακριβούς κατεργασίας που ανταποκρίνονται στις πιο απαιτητικές απαιτήσεις σχεδιασμού σας.
Ώρα δημοσίευσης: 29 Αυγούστου 2025