Βραχίονας χειρισμού κεραμικού άκρου SiC για μεταφορά πλακιδίων

Σύντομη Περιγραφή:

Τα πλακίδια LiNbO₃ αντιπροσωπεύουν το χρυσό πρότυπο στην ολοκληρωμένη φωτονική και την ακουστική ακριβείας, προσφέροντας απαράμιλλη απόδοση στα σύγχρονα οπτοηλεκτρονικά συστήματα. Ως κορυφαίος κατασκευαστής, έχουμε τελειοποιήσει την τέχνη της παραγωγής αυτών των μηχανικά επεξεργασμένων υποστρωμάτων μέσω προηγμένων τεχνικών εξισορρόπησης μεταφοράς ατμών, επιτυγχάνοντας κορυφαία κρυσταλλική τελειότητα με πυκνότητες ελαττωμάτων κάτω των 50/cm².

Οι δυνατότητες παραγωγής της XKH εκτείνονται σε διαμέτρους από 75 mm έως 150 mm, με ακριβή έλεγχο προσανατολισμού (κοπή X/Y/Z ±0,3°) και εξειδικευμένες επιλογές πρόσμιξης, συμπεριλαμβανομένων των στοιχείων σπανίων γαιών. Ο μοναδικός συνδυασμός ιδιοτήτων στις πλακέτες LiNbO₃ – συμπεριλαμβανομένου του αξιοσημείωτου συντελεστή r₃₃ (32±2 pm/V) και της ευρείας διαφάνειας από εγγύς υπεριώδη έως μέση υπέρυθρη – τις καθιστά απαραίτητες για φωτονικά κυκλώματα επόμενης γενιάς και ακουστικές συσκευές υψηλής συχνότητας.

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

Περίληψη κεραμικού τελικού τελεστή SiC

Ο κεραμικός τελικός ενεργοποιητής από SiC (καρβίδιο του πυριτίου) είναι ένα κρίσιμο εξάρτημα σε συστήματα υψηλής ακρίβειας χειρισμού πλακιδίων που χρησιμοποιούνται στην κατασκευή ημιαγωγών και σε προηγμένα περιβάλλοντα μικροκατασκευής. Σχεδιασμένος για να καλύπτει τις απαιτητικές απαιτήσεις εξαιρετικά καθαρών, υψηλών θερμοκρασιών και εξαιρετικά σταθερών περιβαλλόντων, αυτός ο εξειδικευμένος τελικός ενεργοποιητής εξασφαλίζει αξιόπιστη και χωρίς μόλυνση μεταφορά πλακιδίων κατά τη διάρκεια βασικών σταδίων παραγωγής, όπως η λιθογραφία, η χάραξη και η εναπόθεση.

Αξιοποιώντας τις ανώτερες ιδιότητες του υλικού του καρβιδίου του πυριτίου —όπως η υψηλή θερμική αγωγιμότητα, η εξαιρετική σκληρότητα, η εξαιρετική χημική αδράνεια και η ελάχιστη θερμική διαστολή— το κεραμικό τελικό στοιχείο SiC προσφέρει απαράμιλλη μηχανική ακαμψία και διαστατική σταθερότητα ακόμη και υπό γρήγορο θερμικό κύκλο ή σε διαβρωτικούς θαλάμους διεργασίας. Η χαμηλή παραγωγή σωματιδίων και τα χαρακτηριστικά αντοχής στο πλάσμα το καθιστούν ιδιαίτερα κατάλληλο για εφαρμογές επεξεργασίας σε καθαρούς χώρους και σε κενό αέρος, όπου η διατήρηση της ακεραιότητας της επιφάνειας των πλακιδίων και η μείωση της μόλυνσης από σωματίδια είναι πρωταρχικής σημασίας.

Εφαρμογή κεραμικού τελικού τελεστή SiC

1. Χειρισμός πλακιδίων ημιαγωγών

Οι κεραμικοί τελικοί ενεργοποιητές SiC χρησιμοποιούνται ευρέως στη βιομηχανία ημιαγωγών για τον χειρισμό πλακιδίων πυριτίου κατά την αυτοματοποιημένη παραγωγή. Αυτοί οι τελικοί ενεργοποιητές συνήθως τοποθετούνται σε ρομποτικούς βραχίονες ή συστήματα μεταφοράς κενού και έχουν σχεδιαστεί για να δέχονται πλακίδια διαφόρων μεγεθών, όπως 200 mm και 300 mm. Είναι απαραίτητοι σε διεργασίες όπως η Χημική Εναπόθεση Ατμών (CVD), η Φυσική Εναπόθεση Ατμών (PVD), η χάραξη και η διάχυση - όπου οι υψηλές θερμοκρασίες, οι συνθήκες κενού και τα διαβρωτικά αέρια είναι συνηθισμένα. Η εξαιρετική θερμική αντοχή και η χημική σταθερότητα του SiC το καθιστούν ιδανικό υλικό για αντοχή σε τέτοια σκληρά περιβάλλοντα χωρίς υποβάθμιση.

2. Συμβατότητα με καθαρούς χώρους και ηλεκτρική σκούπα

Σε περιβάλλοντα καθαρού χώρου και κενού, όπου η μόλυνση από σωματίδια πρέπει να ελαχιστοποιηθεί, τα κεραμικά SiC προσφέρουν σημαντικά πλεονεκτήματα. Η πυκνή, λεία επιφάνεια του υλικού αντιστέκεται στην παραγωγή σωματιδίων, βοηθώντας στη διατήρηση της ακεραιότητας των πλακιδίων κατά τη μεταφορά. Αυτό καθιστά τους τελικούς ενεργοποιητές SiC ιδιαίτερα κατάλληλους για κρίσιμες διεργασίες όπως η Λιθογραφία Ακραίας Υπεριώδους Ακτίνας (EUV) και η Εναπόθεση Ατομικής Στρώσης (ALD), όπου η καθαριότητα είναι ζωτικής σημασίας. Επιπλέον, η χαμηλή απαγωγή αερίων του SiC και η υψηλή αντίσταση στο πλάσμα εξασφαλίζουν αξιόπιστη απόδοση σε θαλάμους κενού, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής των εργαλείων και μειώνοντας τη συχνότητα συντήρησης.

3. Συστήματα εντοπισμού θέσης υψηλής ακρίβειας

Η ακρίβεια και η σταθερότητα είναι ζωτικής σημασίας στα προηγμένα συστήματα χειρισμού πλακιδίων, ειδικά στον εξοπλισμό μετρολογίας, επιθεώρησης και ευθυγράμμισης. Τα κεραμικά SiC έχουν εξαιρετικά χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και υψηλή ακαμψία, που επιτρέπουν στον τελικό τελεστή να διατηρεί τη δομική του ακρίβεια ακόμη και υπό θερμικό κύκλο ή μηχανικό φορτίο. Αυτό διασφαλίζει ότι τα πλακίδια παραμένουν με ακρίβεια ευθυγραμμισμένα κατά τη μεταφορά, ελαχιστοποιώντας τον κίνδυνο μικρογρατσουνιών, κακής ευθυγράμμισης ή σφαλμάτων μέτρησης - παράγοντες που είναι ολοένα και πιο κρίσιμοι σε κόμβους διεργασιών κάτω των 5nm.

Ιδιότητες κεραμικού τελικού τελεστή SiC

1. Υψηλές μηχανικές αντοχή και σκληρότητα

Τα κεραμικά SiC διαθέτουν εξαιρετική μηχανική αντοχή, με αντοχή σε κάμψη που συχνά υπερβαίνει τα 400 MPa και τιμές σκληρότητας Vickers άνω των 2000 HV. Αυτό τα καθιστά εξαιρετικά ανθεκτικά σε μηχανικές καταπονήσεις, κρούσεις και φθορά, ακόμη και μετά από παρατεταμένη λειτουργική χρήση. Η υψηλή ακαμψία του SiC ελαχιστοποιεί επίσης την παραμόρφωση κατά τη μεταφορά πλακιδίων υψηλής ταχύτητας, εξασφαλίζοντας ακριβή και επαναλήψιμη τοποθέτηση.

2. Άριστη θερμική σταθερότητα

Μία από τις πιο πολύτιμες ιδιότητες των κεραμικών SiC είναι η ικανότητά τους να αντέχουν σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες —συχνά έως και 1600°C σε αδρανή ατμόσφαιρα— χωρίς να χάνουν τη μηχανική τους ακεραιότητα. Ο χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής τους (~4,0 x 10⁻⁶ /K) εξασφαλίζει διαστασιακή σταθερότητα υπό θερμικό κύκλο, καθιστώντας τα ιδανικά για εφαρμογές όπως η CVD, η PVD και η ανόπτηση σε υψηλές θερμοκρασίες.

Ερωτήσεις και απαντήσεις για το κεραμικό άκρο του ενεργοποιητή SiC

Ε: Ποιο υλικό χρησιμοποιείται στον ενεργοποιητή άκρου πλακιδίου;

ΕΝΑ:Τα ενισχυτικά άκρα πλακιδίων κατασκευάζονται συνήθως από υλικά που προσφέρουν υψηλή αντοχή, θερμική σταθερότητα και χαμηλή παραγωγή σωματιδίων. Μεταξύ αυτών, το κεραμικό καρβιδίου του πυριτίου (SiC) είναι ένα από τα πιο προηγμένα και προτιμώμενα υλικά. Τα κεραμικά SiC είναι εξαιρετικά σκληρά, θερμικά σταθερά, χημικά αδρανή και ανθεκτικά στη φθορά, καθιστώντας τα ιδανικά για τον χειρισμό ευαίσθητων πλακιδίων πυριτίου σε περιβάλλοντα καθαρού δωματίου και κενού. Σε σύγκριση με τον χαλαζία ή τα επικαλυμμένα μέταλλα, το SiC προσφέρει ανώτερη διαστατική σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες και δεν αποβάλλει σωματίδια, γεγονός που βοηθά στην πρόληψη της μόλυνσης.