Κεραμικός βραχίονας περόνης / ακραίος τελεστής SiC – Προηγμένος χειρισμός ακριβείας για την κατασκευή ημιαγωγών

Κεραμικός βραχίονας περόνης / ακραίος τελεστής SiC – Προηγμένος χειρισμός ακριβείας για κατασκευή ημιαγωγών Προτεινόμενη εικόνα

Σύντομη Περιγραφή:

Ο κεραμικός βραχίονας πιρουνιού SiC, που συχνά αναφέρεται ως κεραμικός τελεστής τελών, είναι ένα εξάρτημα χειρισμού ακριβείας υψηλής απόδοσης που έχει αναπτυχθεί ειδικά για τη μεταφορά, την ευθυγράμμιση και την τοποθέτηση πλακιδίων σε βιομηχανίες υψηλής τεχνολογίας, ιδιαίτερα στην παραγωγή ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών. Κατασκευασμένο με κεραμικά καρβιδίου πυριτίου υψηλής καθαρότητας, αυτό το εξάρτημα συνδυάζει εξαιρετική μηχανική αντοχή, εξαιρετικά χαμηλή θερμική διαστολή και ανώτερη αντοχή σε θερμικό σοκ και διάβρωση.

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

Λεπτομερές Διάγραμμα

Επισκόπηση προϊόντος

Σε αντίθεση με τα παραδοσιακά τελικά ενεργοποιητικά στοιχεία κατασκευασμένα από αλουμίνιο, ανοξείδωτο χάλυβα ή ακόμα και χαλαζία, τα κεραμικά τελικά ενεργοποιητικά στοιχεία από SiC προσφέρουν απαράμιλλη απόδοση σε θαλάμους κενού, καθαρούς χώρους και σκληρά περιβάλλοντα επεξεργασίας, καθιστώντας τα βασικό μέρος των ρομπότ χειρισμού πλακιδίων επόμενης γενιάς. Με την αυξανόμενη ζήτηση για παραγωγή χωρίς μόλυνση και τις αυστηρότερες ανοχές στην κατασκευή τσιπ, η χρήση κεραμικών τελικών ενεργοποιητών γίνεται γρήγορα το βιομηχανικό πρότυπο.

Αρχή κατασκευής

Η κατασκευή τουΚεραμικοί τελικοί τελεστές SiCπεριλαμβάνει μια σειρά από διαδικασίες υψηλής ακρίβειας και καθαρότητας που διασφαλίζουν τόσο την απόδοση όσο και την ανθεκτικότητα. Συνήθως χρησιμοποιούνται δύο κύριες διαδικασίες:

Καρβίδιο πυριτίου με αντιδραστική σύνδεση (RB-SiC)

Σε αυτήν τη διαδικασία, ένα προπλάσμα κατασκευασμένο από σκόνη καρβιδίου του πυριτίου και συνδετικό υλικό διηθείται με τηγμένο πυρίτιο σε υψηλές θερμοκρασίες (~1500°C), το οποίο αντιδρά με τον υπολειμματικό άνθρακα για να σχηματίσει ένα πυκνό, άκαμπτο σύνθετο υλικό SiC-Si. Αυτή η μέθοδος προσφέρει εξαιρετικό έλεγχο διαστάσεων και είναι οικονομικά αποδοτική για παραγωγή μεγάλης κλίμακας.

Πυριτικό καρβίδιο πυριτίου χωρίς πίεση (SSiC)

Το SSiC παρασκευάζεται με πυροσυσσωμάτωση εξαιρετικά λεπτής σκόνης SiC υψηλής καθαρότητας σε εξαιρετικά υψηλές θερμοκρασίες (>2000°C) χωρίς τη χρήση προσθέτων ή συνδετικής φάσης. Αυτό έχει ως αποτέλεσμα ένα προϊόν με σχεδόν 100% πυκνότητα και τις υψηλότερες μηχανικές και θερμικές ιδιότητες που διατίθενται μεταξύ των υλικών SiC. Είναι ιδανικό για εφαρμογές χειρισμού εξαιρετικά κρίσιμων πλακιδίων.

Μετα-επεξεργασία

Μηχανική κατεργασία CNC ακριβείαςΕπιτυγχάνει υψηλή επιπεδότητα και παραλληλισμό.
Φινίρισμα επιφάνειαςΗ στίλβωση με διαμάντι μειώνει την τραχύτητα της επιφάνειας σε <0,02 µm.
ΕπιθεώρησηΓια την επαλήθευση κάθε τεμαχίου χρησιμοποιούνται οπτική συμβολομετρία, CMM και μη καταστροφικές δοκιμές.

Αυτά τα βήματα εγγυώνται ότι ηΤελικός τελεστής SiCπροσφέρει σταθερή ακρίβεια τοποθέτησης πλακιδίων, εξαιρετική επιπεδότητα και ελάχιστη παραγωγή σωματιδίων.

Βασικά χαρακτηριστικά και οφέλη

Χαρακτηριστικό	Περιγραφή
Εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα	Σκληρότητα Vickers > 2500 HV, αντοχή στη φθορά και το ξεφλούδισμα.
Χαμηλή θερμική διαστολή	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, επιτρέποντας διαστατική σταθερότητα στον θερμικό κύκλο.
Χημική αδράνεια	Ανθεκτικό σε HF, HCl, αέρια πλάσματος και άλλους διαβρωτικούς παράγοντες.
Άριστη αντοχή σε θερμικό σοκ	Κατάλληλο για γρήγορη θέρμανση/ψύξη σε συστήματα κενού και κλιβάνου.
Υψηλή ακαμψία και αντοχή	Υποστηρίζει μακριούς προβόλους βραχίονες πιρουνιού χωρίς παραμόρφωση.
Χαμηλή απαγωγή αερίων	Ιδανικό για περιβάλλοντα εξαιρετικά υψηλού κενού (UHV).
Έτοιμο για καθαρούς χώρους κατηγορίας ISO 1	Η λειτουργία χωρίς σωματίδια διασφαλίζει την ακεραιότητα της πλακέτας.

Εφαρμογές

Ο κεραμικός βραχίονας/τελικός ενεργοποιητής πιρουνιού SiC χρησιμοποιείται ευρέως σε βιομηχανίες που απαιτούν εξαιρετική ακρίβεια, καθαριότητα και χημική αντοχή. Τα βασικά σενάρια εφαρμογής περιλαμβάνουν:

Κατασκευή ημιαγωγών

Φόρτωση/εκφόρτωση πλακιδίων σε συστήματα εναπόθεσης (CVD, PVD), χάραξης (RIE, DRIE) και καθαρισμού.
Ρομποτική μεταφορά πλακιδίων μεταξύ FOUP, κασετών και εργαλείων επεξεργασίας.
Χειρισμός υψηλής θερμοκρασίας κατά τη θερμική επεξεργασία ή ανόπτηση.

Παραγωγή Φωτοβολταϊκών Κυψελών

Λεπτή μεταφορά εύθραυστων πλακιδίων πυριτίου ή ηλιακών υποστρωμάτων σε αυτοματοποιημένες γραμμές.

Βιομηχανία Επίπεδων Οθονών (FPD)

Μετακίνηση μεγάλων γυάλινων πάνελ ή υποστρωμάτων σε περιβάλλοντα παραγωγής OLED/LCD.

Σύνθετοι Ημιαγωγοί / MEMS

Χρησιμοποιείται σε γραμμές κατασκευής GaN, SiC και MEMS όπου ο έλεγχος της μόλυνσης και η ακρίβεια τοποθέτησης είναι κρίσιμα.

Ο ρόλος του ως τελικού τελεστή είναι ιδιαίτερα κρίσιμος για την εξασφάλιση σταθερού χειρισμού χωρίς ελαττώματα κατά τη διάρκεια ευαίσθητων εργασιών.

Δυνατότητες προσαρμογής

Προσφέρουμε εκτεταμένη προσαρμογή για να καλύψουμε ποικίλες απαιτήσεις εξοπλισμού και διεργασιών:

Σχεδιασμός πιρουνιούΔιατάξεις δύο ακίδων, πολλαπλών δακτύλων ή διαιρεμένων επιπέδων.
Συμβατότητα μεγέθους γκοφρέτας: Γκοφρέτες από 2” έως 12”.
Διεπαφές τοποθέτησηςΣυμβατό με ρομποτικούς βραχίονες OEM.
Πάχος & Ανοχές ΕπιφάνειαςΔιαθέσιμη επιπεδότητα σε επίπεδο Micron και στρογγυλοποίηση ακμών.
Αντιολισθητικά χαρακτηριστικάΠροαιρετικές υφές επιφάνειας ή επιστρώσεις για ασφαλή πρόσφυση στο πλακίδιο.

Κάθεκεραμικό τελικό τελεστήέχει σχεδιαστεί από κοινού με τους πελάτες για να διασφαλίζει την ακριβή εφαρμογή με ελάχιστες αλλαγές εργαλείων.

Συχνές ερωτήσεις (FAQ)

Ε1: Πώς είναι το SiC καλύτερο από τον χαλαζία για εφαρμογή σε ακραίο τελεστή;
Α1:Ενώ ο χαλαζίας χρησιμοποιείται συνήθως για την καθαρότητά του, δεν έχει μηχανική αντοχή και είναι επιρρεπής σε θραύση υπό φορτίο ή θερμοκρασιακό σοκ. Το SiC προσφέρει ανώτερη αντοχή, αντοχή στη φθορά και θερμική σταθερότητα, μειώνοντας σημαντικά τον κίνδυνο διακοπής λειτουργίας και ζημιάς σε πλακίδια.

Ε2: Είναι αυτός ο κεραμικός βραχίονας πιρουνιού συμβατός με όλους τους ρομποτικούς χειριστές πλακιδίων;
Α2:Ναι, οι κεραμικοί τελικοί ενεργοποιητές μας είναι συμβατοί με τα περισσότερα μεγάλα συστήματα χειρισμού πλακιδίων και μπορούν να προσαρμοστούν στα συγκεκριμένα ρομποτικά μοντέλα σας με ακριβή μηχανολογικά σχέδια.

Ε3: Μπορεί να χειριστεί πλακίδια 300 mm χωρίς στρέβλωση;
Α3:Απολύτως. Η υψηλή ακαμψία του SiC επιτρέπει ακόμη και σε λεπτούς, μακριούς βραχίονες πιρουνιού να συγκρατούν με ασφάλεια πλακίδια 300 mm χωρίς να χαλαρώνουν ή να παραμορφώνονται κατά την κίνηση.

Ε4: Ποια είναι η τυπική διάρκεια ζωής ενός κεραμικού τελικού ενεργοποιητή SiC;
Α4:Με σωστή χρήση, ένα τελικό στοιχείο από SiC μπορεί να διαρκέσει 5 έως 10 φορές περισσότερο από τα παραδοσιακά μοντέλα χαλαζία ή αλουμινίου, χάρη στην εξαιρετική αντοχή του σε θερμικές και μηχανικές καταπονήσεις.

Ε5: Προσφέρετε αντικαταστάσεις ή υπηρεσίες ταχείας δημιουργίας πρωτοτύπων;
Α5:Ναι, υποστηρίζουμε την ταχεία παραγωγή δειγμάτων και προσφέρουμε υπηρεσίες αντικατάστασης με βάση σχέδια CAD ή αντίστροφης μηχανικής εξαρτημάτων από υπάρχοντα εξοπλισμό.

Σχετικά με εμάς

Η XKH ειδικεύεται στην ανάπτυξη, παραγωγή και πωλήσεις υψηλής τεχνολογίας ειδικού οπτικού γυαλιού και νέων κρυσταλλικών υλικών. Τα προϊόντα μας εξυπηρετούν οπτικά ηλεκτρονικά, ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης και τον στρατό. Προσφέρουμε οπτικά εξαρτήματα από ζαφείρι, καλύμματα φακών κινητών τηλεφώνων, κεραμικά, LT, SIC καρβιδίου πυριτίου, χαλαζία και κρυσταλλικά πλακίδια ημιαγωγών. Με εξειδικευμένη τεχνογνωσία και εξοπλισμό αιχμής, διαπρέπουμε στην επεξεργασία μη τυποποιημένων προϊόντων, με στόχο να γίνουμε μια κορυφαία επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας οπτοηλεκτρονικών υλικών.