Πτερύγιο από καρβίδιο του πυριτίου (Πτερύγιο από καρβίδιο SiC)

Προτεινόμενη εικόνα από καρβίδιο πυριτίου (SiC Cantilever Paddle)

Σύντομη Περιγραφή:

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

Λεπτομερές Διάγραμμα

Επισκόπηση προϊόντος

Το πτερύγιο προβόλου από καρβίδιο του πυριτίου, κατασκευασμένο από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής απόδοσης με αντίδραση σύνδεσης (RBSiC), είναι ένα κρίσιμο εξάρτημα που χρησιμοποιείται σε συστήματα φόρτωσης και χειρισμού πλακιδίων για εφαρμογές ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών.
Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά πτερύγια χαλαζία ή γραφίτη, τα πτερύγια SiC με προβόλους προσφέρουν ανώτερη μηχανική αντοχή, υψηλή σκληρότητα, χαμηλή θερμική διαστολή και εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση. Διατηρούν εξαιρετική δομική σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες, ικανοποιώντας τις αυστηρές απαιτήσεις για μεγάλα μεγέθη πλακιδίων, παρατεταμένη διάρκεια ζωής και εξαιρετικά χαμηλή μόλυνση.

Με τη συνεχή ανάπτυξη των διεργασιών ημιαγωγών προς μεγαλύτερες διαμέτρους πλακιδίων, υψηλότερη απόδοση και καθαρότερα περιβάλλοντα επεξεργασίας, τα πτερύγια προβόλου SiC έχουν σταδιακά αντικαταστήσει τα συμβατικά υλικά, καθιστώντας την προτιμώμενη επιλογή για φούρνους διάχυσης, LPCVD και σχετικό εξοπλισμό υψηλής θερμοκρασίας.

Χαρακτηριστικά προϊόντος

Εξαιρετική σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες
- Λειτουργεί αξιόπιστα στους 1000–1300℃ χωρίς παραμόρφωση.
- Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας έως 1380℃.
Υψηλή φέρουσα ικανότητα
- Αντοχή σε κάμψη έως 250–280 MPa, πολύ υψηλότερη από τα κουπιά χαλαζία.
- Ικανό να χειρίζεται πλακίδια μεγάλης διαμέτρου (300 mm και άνω).
Εκτεταμένη διάρκεια ζωής και χαμηλή συντήρηση
- Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), ταιριαστός με υλικά επικάλυψης LPCVD.
- Μειώνει τις ρωγμές και το ξεφλούδισμα που προκαλούνται από την καταπόνηση, παρατείνοντας σημαντικά τους κύκλους καθαρισμού και συντήρησης.
Αντοχή στη διάβρωση και καθαρότητα
- Εξαιρετική αντοχή σε οξέα και αλκάλια.
- Πυκνή μικροδομή με ανοιχτό πορώδες <0,1%, ελαχιστοποιώντας την παραγωγή σωματιδίων και την απελευθέρωση ακαθαρσιών.
Σχεδιασμός συμβατός με αυτοματισμούς
- Σταθερή γεωμετρία διατομής με υψηλή ακρίβεια διαστάσεων.
- Ενσωματώνεται άψογα με ρομποτικά συστήματα φόρτωσης και εκφόρτωσης πλακιδίων, επιτρέποντας την πλήρως αυτοματοποιημένη παραγωγή.

Φυσικές και Χημικές Ιδιότητες

Είδος	Μονάδα	Δεδομένα
Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας	℃	1380
Πυκνότητα	g/cm³	3.04 – 3.08
Ανοιχτό πορώδες	%	< 0,1
Αντοχή σε κάμψη	MPa	250 (20℃), 280 (1200℃)
Μέτρο ελαστικότητας	Μ.Ο.	330 (20℃), 300 (1200℃)
Θερμική αγωγιμότητα	W/m·K	45 (1200℃)
Συντελεστής θερμικής διαστολής	K⁻¹×10⁻⁶	4.5
Σκληρότητα Vickers	HV2	≥ 2100
Αντοχή σε οξύ/αλκάλια	-	Εξοχος

Τυπικά μήκη:2378 χιλ., 2550 χιλ., 2660 χιλ.
Διαστάσεις κατά παραγγελία διαθέσιμες κατόπιν αιτήματος

Εφαρμογές

Βιομηχανία ημιαγωγών
- LPCVD (Εναπόθεση Χημικών Ατμών Χαμηλής Πίεσης)
- Διεργασίες διάχυσης (φώσφορος, βόριο, κ.λπ.)
- Θερμική οξείδωση
Φωτοβολταϊκή Βιομηχανία
- Διάχυση και επικάλυψη πολυπυριτίου και μονοκρυσταλλικών πλακιδίων
- Ανόπτηση και παθητικοποίηση σε υψηλή θερμοκρασία
Άλλα Πεδία
- Διαβρωτικά περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας
- Συστήματα ακριβείας για χειρισμό πλακιδίων που απαιτούν μεγάλη διάρκεια ζωής και χαμηλή μόλυνση

Οφέλη για τους πελάτες

Μειωμένο λειτουργικό κόστος– Μεγαλύτερη διάρκεια ζωής σε σύγκριση με τα κουπιά χαλαζία, ελαχιστοποιώντας τον χρόνο διακοπής λειτουργίας και τη συχνότητα αντικατάστασης.
Υψηλότερη απόδοση– Η εξαιρετικά χαμηλή μόλυνση διασφαλίζει την καθαριότητα της επιφάνειας των πλακιδίων και μειώνει τα ποσοστά ελαττωμάτων.
Ανθεκτικό στο μέλλον– Συμβατό με μεγάλα μεγέθη πλακιδίων και διεργασίες ημιαγωγών επόμενης γενιάς.
Βελτιωμένη παραγωγικότητα– Πλήρως συμβατό με ρομποτικά συστήματα αυτοματισμού, υποστηρίζοντας την κατασκευή μεγάλου όγκου.

Συχνές ερωτήσεις – Πτερύγιο από καρβίδιο πυριτίου

Ε1: Τι είναι ένα κουπί προβόλου από καρβίδιο του πυριτίου;
Α: Είναι ένα εξάρτημα στήριξης και χειρισμού πλακιδίων κατασκευασμένο από καρβίδιο του πυριτίου με αντίδραση σύνδεσης (RBSiC). Χρησιμοποιείται ευρέως σε φούρνους διάχυσης, LPCVD και άλλες διεργασίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών υψηλής θερμοκρασίας.

Ε2: Γιατί να επιλέξετε SiC αντί για κουπιά χαλαζία;
Α: Σε σύγκριση με τα κουπιά χαλαζία, τα κουπιά SiC προσφέρουν:

Υψηλότερη μηχανική αντοχή και ικανότητα φέρουσας ικανότητας
Καλύτερη θερμική σταθερότητα σε θερμοκρασίες έως 1380℃
Πολύ μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και μειωμένοι κύκλοι συντήρησης
Χαμηλότερη παραγωγή σωματιδίων και κίνδυνος μόλυνσης
Συμβατότητα με μεγαλύτερα μεγέθη πλακιδίων (300 mm και άνω)

Ε3: Ποια μεγέθη πλακιδίων μπορεί να υποστηρίξει το πτερύγιο πρόβολου SiC;
Α: Διατίθενται τυπικά πτερύγια για συστήματα κλιβάνου 2378 mm, 2550 mm και 2660 mm. Διατίθενται προσαρμοσμένες διαστάσεις για την υποστήριξη πλακιδίων έως 300 mm και άνω.

Σχετικά με εμάς

Η XKH ειδικεύεται στην ανάπτυξη, παραγωγή και πωλήσεις υψηλής τεχνολογίας ειδικού οπτικού γυαλιού και νέων κρυσταλλικών υλικών. Τα προϊόντα μας εξυπηρετούν οπτικά ηλεκτρονικά, ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης και τον στρατό. Προσφέρουμε οπτικά εξαρτήματα από ζαφείρι, καλύμματα φακών κινητών τηλεφώνων, κεραμικά, LT, SIC καρβιδίου πυριτίου, χαλαζία και κρυσταλλικά πλακίδια ημιαγωγών. Με εξειδικευμένη τεχνογνωσία και εξοπλισμό αιχμής, διαπρέπουμε στην επεξεργασία μη τυποποιημένων προϊόντων, με στόχο να γίνουμε μια κορυφαία επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας οπτοηλεκτρονικών υλικών.