Sucker δίσκων καρβιδίου του πυριτίου κεραμικό πυριτίου καρβιδίου κεραμικό σωλήνα επεξεργασίας συνήθειας συμπύκνωσης ανεφοδιασμού υψηλής θερμοκρασίας
Κύρια χαρακτηριστικά:
1. Κεραμικός δίσκος από καρβίδιο του πυριτίου
- Υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά: η σκληρότητα είναι κοντά στο διαμάντι και μπορεί να αντέξει τη μηχανική φθορά στην επεξεργασία πλακιδίων για μεγάλο χρονικό διάστημα.
- Υψηλή θερμική αγωγιμότητα και χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: γρήγορη απαγωγή θερμότητας και σταθερότητα διαστάσεων, αποφεύγοντας την παραμόρφωση που προκαλείται από θερμική καταπόνηση.
- Υψηλή επιπεδότητα και φινίρισμα επιφάνειας: Η επιπεδότητα της επιφάνειας φτάνει έως και το επίπεδο του μικρού, εξασφαλίζοντας πλήρη επαφή μεταξύ της πλακέτας και του δίσκου, μειώνοντας τη μόλυνση και τις ζημιές.
Χημική σταθερότητα: Ισχυρή αντοχή στη διάβρωση, κατάλληλη για υγρούς καθαρισμούς και διαδικασίες χάραξης στην κατασκευή ημιαγωγών.
2. Κεραμικός σωλήνας από καρβίδιο του πυριτίου
- Αντοχή σε υψηλή θερμοκρασία: Μπορεί να λειτουργήσει σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας άνω των 1600°C για μεγάλο χρονικό διάστημα, κατάλληλο για διεργασίες ημιαγωγών σε υψηλή θερμοκρασία.
Άριστη αντοχή στη διάβρωση: ανθεκτικό σε οξέα, αλκάλια και μια ποικιλία χημικών διαλυτών, κατάλληλο για σκληρά περιβάλλοντα διεργασιών.
- Υψηλή σκληρότητα και αντοχή στη φθορά: αντισταθείτε στη διάβρωση των σωματιδίων και τη μηχανική φθορά, παρατείνετε τη διάρκεια ζωής.
- Υψηλή θερμική αγωγιμότητα και χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: γρήγορη αγωγιμότητα θερμότητας και διαστατική σταθερότητα, μειώνοντας την παραμόρφωση ή τις ρωγμές που προκαλούνται από θερμική καταπόνηση.
Παράμετρος προϊόντος:
Παράμετρος κεραμικού δίσκου από καρβίδιο του πυριτίου:
| (Υλική ιδιότητα) | (Μονάδα) | (ssic) | |
| (Περιεκτικότητα σε SiC) | (Βάρος)% | >99 | |
| (Μέσο μέγεθος κόκκων) | μικρόν | 4-10 | |
| (Πυκνότητα) | kg/dm3 | >3.14 | |
| (Φαινομενική πορώδες) | Vo1% | <0,5 | |
| (Σκληρότητα Vickers) | Υψηλή τάση 0,5 | Μ.Ο. | 28 |
| *() Αντοχή σε κάμψη* (τρία σημεία) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Θλιπτική αντοχή) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Μέτρο ελαστικότητας) | 20ºC | Μ.Ο. | 420 |
| (Ανθεκτικότητα σε θραύση) | MPa/m'% | 3.5 | |
| (Θερμική αγωγιμότητα) | 20°C | W/(m*K) | 160 |
| (Αντίσταση) | 20°C | Ohm.cm | 106-108 |
(Συντελεστής θερμικής διαστολής) | a(RT**...80ºC) | Κ-1*10-6 | 4.3 |
(Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας) | oºC | 1700 | |
Παράμετρος κεραμικού σωλήνα καρβιδίου του πυριτίου:
| Αντικείμενα | Δείκτης |
| α-SIC | 99% ελάχιστο |
| Φαινομενική Πορώδες | 16% μέγιστο |
| Φαινόμενη πυκνότητα | 2,7 g/cm3 λεπτά |
| Αντοχή σε κάμψη σε υψηλή θερμοκρασία | 100 Mpa λεπτά |
| Συντελεστής θερμικής διαστολής | Κ-1 4.7x10 -6 |
| Συντελεστής θερμικής αγωγιμότητας (1400ºC) | 24 W/mk |
| Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας | 1650ºC |
Κύριες εφαρμογές:
1. Κεραμική πλάκα από καρβίδιο του πυριτίου
- Κοπή και στίλβωση πλακιδίων: χρησιμεύει ως πλατφόρμα ρουλεμάν για να εξασφαλίζει υψηλή ακρίβεια και σταθερότητα κατά την κοπή και τη στίλβωση.
- Διαδικασία λιθογραφίας: Η πλακέτα στερεώνεται στη μηχανή λιθογραφίας για να εξασφαλιστεί η υψηλή ακρίβεια τοποθέτησης κατά την έκθεση.
- Χημική Μηχανική Στίλβωση (CMP): λειτουργεί ως πλατφόρμα στήριξης για τα σφουγγάρια στίλβωσης, παρέχοντας ομοιόμορφη πίεση και κατανομή θερμότητας.
2. Κεραμικός σωλήνας από καρβίδιο του πυριτίου
- Σωλήνας φούρνου υψηλής θερμοκρασίας: χρησιμοποιείται για εξοπλισμό υψηλής θερμοκρασίας, όπως φούρνο διάχυσης και φούρνο οξείδωσης, για τη μεταφορά πλακιδίων για επεξεργασία σε υψηλή θερμοκρασία.
- Διαδικασία CVD/PVD: Ως φέρων σωλήνας στον θάλαμο αντίδρασης, ανθεκτικός σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά αέρια.
- Αξεσουάρ ημιαγωγού εξοπλισμού: για εναλλάκτες θερμότητας, αγωγούς αερίου κ.λπ., για τη βελτίωση της αποδοτικότητας της θερμικής διαχείρισης του εξοπλισμού.
Η XKH προσφέρει μια πλήρη γκάμα προσαρμοσμένων υπηρεσιών για κεραμικούς δίσκους, βεντούζες και κεραμικούς σωλήνες από καρβίδιο του πυριτίου. Οι κεραμικοί δίσκοι και οι βεντούζες από καρβίδιο του πυριτίου, η XKH, μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών σε διαφορετικά μεγέθη, σχήματα και τραχύτητα επιφάνειας, και υποστηρίζουν ειδική επεξεργασία επίστρωσης, ενισχύουν την αντοχή στη φθορά και τη διάβρωση. Για κεραμικούς σωλήνες από καρβίδιο του πυριτίου, η XKH μπορεί να προσαρμόσει μια ποικιλία εσωτερικής διαμέτρου, εξωτερικής διαμέτρου, μήκους και σύνθετης δομής (όπως διαμορφωμένος σωλήνας ή πορώδης σωλήνας) και να παρέχει στίλβωση, αντιοξειδωτική επίστρωση και άλλες διαδικασίες επιφανειακής επεξεργασίας. Η XKH διασφαλίζει ότι οι πελάτες μπορούν να επωφεληθούν πλήρως από τα οφέλη απόδοσης των κεραμικών προϊόντων από καρβίδιο του πυριτίου για να καλύψουν τις απαιτητικές απαιτήσεις τομέων υψηλής τεχνολογίας όπως οι ημιαγωγοί, τα LED και τα φωτοβολταϊκά.
Λεπτομερές Διάγραμμα
