Κεραμικό δίσκο Carbide Carbide Silicon Κεραμικό δίσκο Κεραμικό σωλήνα Κεραμικό σωλήνα Υψηλής θερμοκρασίας Η προσαρμοσμένη επεξεργασία

Σύντομη περιγραφή:

Κεραμικοί δίσκοι καρβιδίου πυριτίου και κεραμικοί σωλήνες καρβιδίου πυριτίου είναι απαραίτητα υλικά υψηλής απόδοσης στην κατασκευή ημιαγωγών. Το κεραμικό δίσκο καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιείται κυρίως στην επεξεργασία και το ρουλεμάν, για να εξασφαλιστεί η σταθερότητα της διαδικασίας υψηλής ακρίβειας. Οι κεραμικοί σωλήνες καρβιδίου πυριτίου χρησιμοποιούνται ευρέως σε σωλήνες κλίβανου υψηλής θερμοκρασίας, σωλήνες διάχυσης και άλλα σενάρια για να αντέχουν σε ακραία περιβάλλοντα και να διατηρούν αποτελεσματική θερμική διαχείριση. Και οι δύο βασίζονται στο καρβίδιο του πυριτίου ως υλικό πυρήνα, το οποίο έχει γίνει ένα βασικό συστατικό στη βιομηχανία ημιαγωγών λόγω των εξαιρετικών φυσικών και χημικών του ιδιοτήτων.


Λεπτομέρειες προϊόντων

Ετικέτες προϊόντων

Κύρια χαρακτηριστικά:

1. Κεραμικό δίσκο καρβιδίου πυριτίου
- Υψηλή σκληρότητα και αντίσταση στη φθορά: Η σκληρότητα είναι κοντά στο διαμάντι και μπορεί να αντέξει τη μηχανική φθορά στην επεξεργασία των πλακιδίων για μεγάλο χρονικό διάστημα.
- Υψηλή θερμική αγωγιμότητα και συντελεστής χαμηλής θερμικής διαστολής: γρήγορη διάχυση θερμότητας και σταθερότητα διαστάσεων, αποφεύγοντας την παραμόρφωση που προκαλείται από θερμική τάση.
- Υψηλή επίπεδη και επιφάνεια φινίρισμα: Η επιφάνεια της επιφάνειας ανέρχεται στο επίπεδο των μικρών, εξασφαλίζοντας την πλήρη επαφή μεταξύ του δίσκου και του δίσκου, μειώνοντας τη μόλυνση και τη ζημιά.
Χημική σταθερότητα: ισχυρή αντοχή στη διάβρωση, κατάλληλη για διαδικασίες υγρού καθαρισμού και χάραξης στην κατασκευή ημιαγωγών.
2. Κεραμικός σωλήνας καρβιδίου πυριτίου
- Αντίσταση υψηλής θερμοκρασίας: Μπορεί να λειτουργήσει σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας άνω των 1600 ° C για μεγάλο χρονικό διάστημα, κατάλληλο για διαδικασία υψηλής θερμοκρασίας ημιαγωγών.
Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση: ανθεκτική σε οξέα, αλκαλικά και μια ποικιλία χημικών διαλυτών, κατάλληλα για σκληρά περιβάλλοντα διεργασιών.
- Υψηλή σκληρότητα και αντίσταση φθοράς: Αντιμετωπίστε τη διάβρωση των σωματιδίων και τη μηχανική φθορά, επεκτείνετε τη διάρκεια ζωής.
- Υψηλή θερμική αγωγιμότητα και χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής: γρήγορη αγωγιμότητα θερμότητας και διαστασιακής σταθερότητας, μειώνοντας την παραμόρφωση ή ρωγμή που προκαλείται από θερμική τάση.

Παράμετρος προϊόντος:

Παράμετρος κεραμικού δίσκου καρβιδίου πυριτίου:

(Υλική ιδιοκτησία) (Μονάδα) (SSIC)
(Περιεχόμενο SIC)   (WT)% > 99
(Μέσο μέγεθος κόκκων)   μικρόν 4-10
(Πυκνότητα)   KG/DM3 > 3.14
(Φαινόμενο πορώδες)   VO1% <0,5
(Σκληρότητα Vickers) HV 0,5 ΣΔΠ 28
*()
Δύναμη κάμψης* (τρία σημεία)
20 ° C MPA 450
(Δύναμη συμπίεσης) 20 ° C MPA 3900
(Ελαστικό μέτρο) 20 ° C ΣΔΠ 420
(Σκληρότητα θραύσης)   Mpa/m '% 3.5
(Θερμική αγωγιμότητα) 20 ° ºC W/(m*k) 160
(Αντίσταση) 20 ° ºC Ohm.cm 106-108

(Συντελεστής θερμικής διαστολής)
A (RT ** ... 80ºC) Κ-1*10-6 4.3

(Μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας)
  oºc 1700

 

Παράμετρος κεραμικού σωλήνα καρβιδίου πυριτίου:

Αντικείμενα Δείκτης
α-SIC 99% λεπτά
Φαινόμενο πορώδες 16% μέγιστο
Χύδην πυκνότητα 2,7g/cm3 λεπτά
Αντοχή κάμψης σε υψηλή θερμοκρασία 100 MPa Min
Συντελεστής θερμικής διαστολής K -1 4.7x10 -6
Συντελεστής θερμικής αγωγιμότητας (1400 ° C) 24 w/mk
Μέγιστο. Θερμοκρασία εργασίας 1650 ° C

 

Κύριες εφαρμογές:

1. Κεραμική πλάκα καρβιδίου πυριτίου
- Κοπή και στίλβωση πλακιδίων: Χρησιμεύει ως πλατφόρμα εδράνου για να εξασφαλίσει υψηλή ακρίβεια και σταθερότητα κατά τη διάρκεια της κοπής και της στίλβας.
- Διαδικασία λιθογραφίας: Το δίσκο καθορίζεται στη μηχανή λιθογραφίας για να εξασφαλίσει υψηλή τοποθέτηση ακριβείας κατά την έκθεση.
- Χημική μηχανική στίλβωση (CMP): Λειτουργεί ως πλατφόρμα υποστήριξης για τα μαξιλαράκια στίλβου, παρέχοντας ομοιόμορφη πίεση και κατανομή θερμότητας.
2. Κεραμικός σωλήνας καρβιδίου πυριτίου
- Σωλήνας κλιβάνου υψηλής θερμοκρασίας: Χρησιμοποιείται για εξοπλισμό υψηλής θερμοκρασίας, όπως φούρνος διάχυσης και φούρνος οξείδωσης για τη μεταφορά πλακιδίων για επεξεργασία διεργασιών υψηλής θερμοκρασίας.
- Διαδικασία CVD/PVD: Ως σωλήνας εδράνου στο θάλαμο αντίδρασης, ανθεκτικό σε υψηλές θερμοκρασίες και διαβρωτικά αέρια.
- Αξεσουάρ εξοπλισμού ημιαγωγών: Για εναλλάκτες θερμότητας, αγωγούς φυσικού αερίου κ.λπ., για τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας της θερμικής διαχείρισης του εξοπλισμού.
Το XKH προσφέρει μια πλήρη γκάμα προσαρμοσμένων υπηρεσιών για κεραμικούς δίσκους καρβιδίου πυριτίου, κύπελλα αναρρόφησης και κεραμικούς σωλήνες καρβιδίου πυριτίου. Κεραμικοί δίσκοι καρβιδίου πυριτίου και κύπελλα αναρρόφησης, το XKH μπορεί να προσαρμοστεί σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών διαφορετικών μεγεθών, σχημάτων και τραχύτητας επιφάνειας και υποστήριξη ειδικής θεραπείας επικάλυψης, ενίσχυση της αντοχής στη φθορά και της αντοχής στη διάβρωση. Για τους κεραμικούς σωλήνες καρβιδίου πυριτίου, το XKH μπορεί να προσαρμόσει μια ποικιλία εσωτερικής διαμέτρου, εξωτερικής διαμέτρου, μήκους και σύνθετης δομής (όπως σχήμα σωλήνα ή πορώδους σωλήνα) και παρέχει στίλβωση, επικάλυψη κατά της οξείδωσης και άλλες διεργασίες επιφανειακής επεξεργασίας. Το XKH διασφαλίζει ότι οι πελάτες μπορούν να επωφεληθούν πλήρως από τα οφέλη από την απόδοση των κεραμικών προϊόντων καρβιδίου πυριτίου για να ικανοποιήσουν τις απαιτητικές απαιτήσεις των πεδίων κατασκευής υψηλού επιπέδου, όπως οι ημιαγωγοί, τα LED και τα φωτοβολταϊκά.

Λεπτομερές διάγραμμα

Κεραμικό δίσκο και σωλήνα 6 SIC 6
Κεραμικό δίσκο και σωλήνας 7 SIC 7
Κεραμικό δίσκο και σωλήνας 8 SIC 8
Κεραμικό δίσκο και σωλήνας 9 SIC 9

  • Προηγούμενος:
  • Επόμενος:

  • Γράψτε το μήνυμά σας εδώ και στείλτε το σε μας