Μηχανή κοπής σύρματος με διαμάντια από καρβίδιο του πυριτίου, επεξεργασία πλινθωμάτων SiC 4/6/8/12 ιντσών

Σύντομη Περιγραφή:

Η μηχανή κοπής σύρματος με διαμάντι από καρβίδιο του πυριτίου (SiC) είναι ένα είδος εξοπλισμού επεξεργασίας υψηλής ακρίβειας αφιερωμένου στην κοπή πλινθωμάτων καρβιδίου του πυριτίου (SiC), χρησιμοποιώντας την τεχνολογία πριονιού διαμαντιού, μέσω κινούμενου σύρματος διαμαντιού υψηλής ταχύτητας (διάμετρος γραμμής 0,1~0,3mm) σε κοπή πολλαπλών συρμάτων πλινθωμάτων SiC, για την επίτευξη υψηλής ακρίβειας και χαμηλής ζημιάς σε προετοιμασία πλακιδίων. Ο εξοπλισμός χρησιμοποιείται ευρέως στην επεξεργασία υποστρωμάτων ημιαγωγών ισχύος SiC (MOSFET/SBD), συσκευών ραδιοσυχνοτήτων (GaN-on-SiC) και οπτοηλεκτρονικών συσκευών, και αποτελεί βασικό εξοπλισμό στην αλυσίδα της βιομηχανίας SiC.

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

Αρχή λειτουργίας:

1. Στερέωση πλινθώματος: Το πλινθώμα SiC (4H/6H-SiC) στερεώνεται στην πλατφόρμα κοπής μέσω του εξαρτήματος για να εξασφαλιστεί η ακρίβεια θέσης (±0,02mm).

2. Κίνηση γραμμής διαμαντιού: η γραμμή διαμαντιού (ηλεκτρολυτικά επιμεταλλωμένα σωματίδια διαμαντιού στην επιφάνεια) κινείται από το σύστημα τροχού οδηγού για κυκλοφορία υψηλής ταχύτητας (ταχύτητα γραμμής 10~30m/s).

3. Τροφοδοσία κοπής: το πλινθώμα τροφοδοτείται κατά μήκος της καθορισμένης κατεύθυνσης και η γραμμή διαμαντιού κόβεται ταυτόχρονα με πολλαπλές παράλληλες γραμμές (100~500 γραμμές) για να σχηματιστούν πολλαπλές γκοφρέτες.

4. Ψύξη και αφαίρεση θραυσμάτων: Ψεκάστε ψυκτικό μέσο (απιονισμένο νερό + πρόσθετα) στην περιοχή κοπής για να μειώσετε τη ζημιά από τη θερμότητα και να αφαιρέσετε τα θραύσματα.

Βασικές παράμετροι:

1. Ταχύτητα κοπής: 0,2~1,0 mm/min (ανάλογα με την κατεύθυνση του κρυστάλλου και το πάχος του SiC).

2. Τάση γραμμής: 20~50N (πολύ υψηλή, εύκολη στη θραύση της γραμμής, πολύ χαμηλή, επηρεάζει την ακρίβεια κοπής).

3. Πάχος γκοφρέτας: τυπικά 350~500μm, η γκοφρέτα μπορεί να φτάσει τα 100μm.

Κύρια χαρακτηριστικά:

(1) Ακρίβεια κοπής
Ανοχή πάχους: ±5μm (@γκοφρέτα 350μm), καλύτερη από την συμβατική κοπή κονιάματος (±20μm).

Τραχύτητα επιφάνειας: Ra<0,5μm (δεν απαιτείται πρόσθετη λείανση για τη μείωση της ποσότητας της επακόλουθης επεξεργασίας).

Στρέβλωση: <10μm (μείωση της δυσκολίας της επακόλουθης στίλβωσης).

(2) Αποδοτικότητα επεξεργασίας
Κοπή πολλαπλών γραμμών: κοπή 100~500 τεμαχίων κάθε φορά, αυξάνοντας την παραγωγική ικανότητα 3~5 φορές (έναντι της κοπής σε μία γραμμή).

Διάρκεια ζωής γραμμής: Η γραμμή διαμαντιού μπορεί να κόψει 100~300km SiC (ανάλογα με τη σκληρότητα του πλινθώματος και τη βελτιστοποίηση της διαδικασίας).

(3) Επεξεργασία χαμηλής ζημιάς
Θραύση ακμής: <15μm (παραδοσιακή κοπή >50μm), βελτίωση της απόδοσης σε γκοφρέτα.

Στρώμα φθοράς κάτω από την επιφάνεια: <5μm (μείωση της αφαίρεσης στίλβωσης).

(4) Προστασία του περιβάλλοντος και οικονομία
Καμία μόλυνση από κονίαμα: Μειωμένο κόστος απόρριψης υγρών αποβλήτων σε σύγκριση με την κοπή κονιάματος.

Χρήση υλικού: Απώλεια κοπής <100μm/κόφτης, εξοικονομώντας πρώτες ύλες SiC.

Εφέ κοπής:

1. Ποιότητα γκοφρέτας: καμία μακροσκοπική ρωγμή στην επιφάνεια, λίγα μικροσκοπικά ελαττώματα (ελεγχόμενη επέκταση εξάρθρωσης). Μπορεί να εισέλθει απευθείας στον τραχύ σύνδεσμο στίλβωσης, μειώνοντας τη ροή της διαδικασίας.

2. Συνοχή: η απόκλιση πάχους της γκοφρέτας στην παρτίδα είναι <±3%, κατάλληλη για αυτοματοποιημένη παραγωγή.

3. Εφαρμογή: Υποστήριξη κοπής πλινθωμάτων 4H/6H-SiC, συμβατή με αγώγιμο/ημιμονωμένο τύπο.

Τεχνικές προδιαγραφές:

Προσδιορισμός	Καθέκαστα
Διαστάσεις (Μ × Π × Υ)	2500x2300x2500 ή προσαρμόστε
Εύρος μεγέθους υλικού επεξεργασίας	4, 6, 8, 10, 12 ίντσες καρβιδίου του πυριτίου
Τραχύτητα επιφάνειας	Ra≤0,3u
Μέση ταχύτητα κοπής	0,3 χιλιοστά/λεπτό
Βάρος	5,5 τόνοι
Βήματα ρύθμισης της διαδικασίας κοπής	≤30 βήματα
Θόρυβος εξοπλισμού	≤80 dB
Ένταση χαλύβδινου σύρματος	0~110N (η τάση σύρματος 0,25 είναι 45N)
Ταχύτητα χαλύβδινου σύρματος	0~30m/S
Συνολική ισχύς	50kw
Διάμετρος διαμαντένιου σύρματος	≥0,18 χιλιοστά
Επιπεδότητα άκρου	≤0,05 χιλιοστά
Ρυθμός κοπής και σπασίματος	≤1% (εκτός από ανθρώπινους λόγους, υλικό πυριτίου, γραμμή, συντήρηση και άλλους λόγους)

Υπηρεσίες XKH:

Η XKH παρέχει ολοκληρωμένες υπηρεσίες επεξεργασίας μηχανών κοπής σύρματος από αδαμαντοφόρο καρβίδιο του πυριτίου, συμπεριλαμβανομένης της επιλογής εξοπλισμού (αντιστοίχιση διαμέτρου σύρματος/ταχύτητας σύρματος), της ανάπτυξης της διαδικασίας (βελτιστοποίηση παραμέτρων κοπής), της προμήθειας αναλώσιμων (σύρμα με αδαμαντοφόρο σύρμα, τροχός οδήγησης) και της υποστήριξης μετά την πώληση (συντήρηση εξοπλισμού, ανάλυση ποιότητας κοπής), για να βοηθήσει τους πελάτες να επιτύχουν υψηλή απόδοση (>95%), χαμηλού κόστους μαζική παραγωγή πλακιδίων SiC. Προσφέρει επίσης εξατομικευμένες αναβαθμίσεις (όπως εξαιρετικά λεπτή κοπή, αυτοματοποιημένη φόρτωση και εκφόρτωση) με χρόνο παράδοσης 4-8 εβδομάδων.