Στάδιο αεροστρώματος SiC εξαιρετικά ακριβείας

Εικόνα από εξαιρετικά ακριβές στάδιο αεροστρώματος SiC

Σύντομη Περιγραφή:

Με τη συνεχή εξέλιξη της βιομηχανίας ημιαγωγών, ο εξοπλισμός επεξεργασίας και επιθεώρησης απαιτεί ολοένα και υψηλότερη απόδοση. Βασιζόμενοι στην εκτεταμένη εμπειρία μας στον έλεγχο κίνησης και την τοποθέτηση σε νανομετρικό επίπεδο, αναπτύξαμε μια επίπεδη πλατφόρμα διπλού άξονα τύπου H, εξαιρετικά ακριβούς ρουλεμάν αέρα.

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

Λεπτομερές Διάγραμμα

Επισκόπηση

Κατασκευασμένη με κεραμική δομή από καρβίδιο του πυριτίου (SiC) βελτιστοποιημένη ως προς τα πεπερασμένα στοιχεία και τεχνολογία ρουλεμάν αντισταθμισμένου αέρα, η σκηνή προσφέρει εξαιρετική ακρίβεια, ακαμψία και δυναμική απόκριση. Είναι ιδανική για:

Επεξεργασία και επιθεώρηση ημιαγωγών
Μικρο/νανοκατασκευή και μετρολογία
Κοπή και στίλβωση με μύγα σε νανομετρική κλίμακα
Σάρωση υψηλής ακρίβειας υψηλής ταχύτητας

Βασικά χαρακτηριστικά

Οδηγός ρουλεμάν αέρα SiCγια εξαιρετικά υψηλή ακαμψία και ακρίβεια
Υψηλή δυναμική: ταχύτητα έως 1 m/s, επιτάχυνση έως 4 g, ταχεία καθίζηση
Άξονας Y διπλής κίνησης gantryεξασφαλίζει υψηλή ικανότητα φόρτωσης και σταθερότητα
Επιλογές κωδικοποιητή: οπτικό πλέγμα ή συμβολόμετρο λέιζερ
Ακρίβεια τοποθέτησης: ±0,15 μm;επαναληψιμότητα: ±75 nm
Βελτιστοποιημένη δρομολόγηση καλωδίωνγια καθαρό σχεδιασμό και μακροπρόθεσμη αξιοπιστία
Προσαρμόσιμες διαμορφώσειςγια ανάγκες συγκεκριμένης εφαρμογής

Σχεδιασμός εξαιρετικά ακριβείας και αρχιτεκτονική άμεσης οδήγησης, χωρίς επαφή

Κεραμικό πλαίσιο SiC~5× η ακαμψία του κράματος αλουμινίου και ~5× χαμηλότερη θερμική διαστολή, εξασφαλίζοντας σταθερότητα σε υψηλές ταχύτητες και θερμική ανθεκτικότητα.
Αντισταθμισμένο ρουλεμάν αέραΟ ιδιόκτητος σχεδιασμός βελτιώνει την ακαμψία, την ικανότητα φόρτωσης και τη σταθερότητα κίνησης.
Δυναμική ΑπόδοσηΥποστηρίζει ταχύτητα 1 m/s και επιτάχυνση 4 g, ιδανική για διεργασίες υψηλής απόδοσης.
Απρόσκοπτη ενσωμάτωσηΣυμβατό με συστήματα απομόνωσης κραδασμών, περιστροφικές βαθμίδες, μονάδες κλίσης και πλατφόρμες χειρισμού πλακιδίων.
Διαχείριση καλωδίωνΗ ελεγχόμενη ακτίνα κάμψης ελαχιστοποιεί την καταπόνηση για εκτεταμένη διάρκεια ζωής.

Γραμμικός κινητήρας χωρίς πυρήναΟμαλή κίνηση με μηδενική δύναμη οδοντωτών τροχών.
Σύστημα κίνησης πολλαπλών κινητήρωνΗ τοποθέτηση του κινητήρα στο επίπεδο φορτίου βελτιώνει την ευθεία, την επιπεδότητα και την γωνιακή ακρίβεια.
Θερμική μόνωσηΟι κινητήρες είναι απομονωμένοι από τη δομή της σκηνής. Προαιρετική ψύξη με αέρα ή νερό για κύκλους υψηλής λειτουργίας.

Προδιαγραφές

Μοντέλο	400-400	500-500	600-600
Άξονες	X (σάρωση) / Y (βήμα)	X (σάρωση) / Y (βήμα)	X (σάρωση) / Y (βήμα)
Ταξίδι (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Ακρίβεια (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Επαναληψιμότητα (nm)	±75	±100	±100
Ανάλυση (nm)	0,3	0,3	0,3
Μέγιστη ταχύτητα (m/s)	1	1	1
Επιτάχυνση (g)	4	4	4
Ευθύτητα (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Σταθερότητα (nm)	±5	±5	±5
Μέγιστο φορτίο (kg)	20	20	20
Κλίση/Κύλιση/Εκτροπή (τόξο-δευτ.)	±1	±1	±1

Συνθήκες δοκιμής:

Παροχή αέρα: καθαρός, ξηρός· σημείο δρόσου ≤ 0°F· διήθηση σωματιδίων ≤ 0,25 μm· ή 99,99% άζωτο.
Η ακρίβεια μετρήθηκε 25 mm πάνω από το κέντρο της τράπεζας στους 20±1 °C, 40–60% σχετική υγρασία.

Εφαρμογές

Λιθογραφία ημιαγωγών, επιθεώρηση και χειρισμός πλακιδίων
Μικρο/νανοκατασκευή και μετρολογία ακριβείας
Κατασκευή οπτικών υψηλής τεχνολογίας και συμβολομετρία
Αεροδιαστημική και προηγμένη επιστημονική έρευνα

Συχνές ερωτήσεις – Στάδιο με ρουλεμάν αέρα από καρβίδιο πυριτίου

1. Τι είναι ένα στάδιο που φέρει αέρα;

Μια σκηνή με αέρα χρησιμοποιεί μια λεπτή μεμβράνη πεπιεσμένου αέρα μεταξύ της σκηνής και του οδηγού για να παρέχεικίνηση χωρίς τριβή, χωρίς φθορά και εξαιρετικά ομαλήΣε αντίθεση με τα συμβατικά μηχανικά ρουλεμάν, εξαλείφει την ολίσθηση, προσφέρει ακρίβεια νανομέτρου και υποστηρίζει μακροπρόθεσμη αξιοπιστία.

2. Γιατί να χρησιμοποιηθεί καρβίδιο του πυριτίου (SiC) για τη δομή της σκηνής;

Υψηλή ακαμψία: ~5× αυτό του κράματος αλουμινίου, ελαχιστοποιώντας την παραμόρφωση κατά τη δυναμική κίνηση.
Χαμηλή θερμική διαστολή: ~5 φορές χαμηλότερο από το αλουμίνιο, διατηρώντας την ακρίβεια υπό διακυμάνσεις θερμοκρασίας.
Πυγμάχος ελαφρού βάρουςΧαμηλότερη πυκνότητα σε σύγκριση με τον χάλυβα, επιτρέποντας λειτουργία υψηλής ταχύτητας και υψηλής επιτάχυνσης.
Εξαιρετική σταθερότηταΑνώτερη απόσβεση και ακαμψία για τοποθέτηση εξαιρετικά ακριβούς τύπου.

3. Χρειάζεται λίπανση ή συντήρηση η σκηνή;

Δεν απαιτείται παραδοσιακή λίπανση, καθώς υπάρχεικαμία μηχανική επαφήΗ συνιστώμενη συντήρηση περιλαμβάνει:

Προμήθειακαθαρό, ξηρό πεπιεσμένο αέρα ή άζωτο
Περιοδικός έλεγχος φίλτρων και στεγνωτηρίων
Παρακολούθηση καλωδίων και συστημάτων ψύξης

4. Ποιες είναι οι απαιτήσεις παροχής αέρα;

Σημείο δρόσου: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Διήθηση σωματιδίων: ≤ 0,25 μm
Καθαρός, ξηρός αέρας ή 99,99% καθαρό άζωτο
Σταθερή πίεση με ελάχιστη διακύμανση

Σχετικά με εμάς

Η XKH ειδικεύεται στην ανάπτυξη, παραγωγή και πωλήσεις υψηλής τεχνολογίας ειδικού οπτικού γυαλιού και νέων κρυσταλλικών υλικών. Τα προϊόντα μας εξυπηρετούν οπτικά ηλεκτρονικά, ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης και τον στρατό. Προσφέρουμε οπτικά εξαρτήματα από ζαφείρι, καλύμματα φακών κινητών τηλεφώνων, κεραμικά, LT, SIC καρβιδίου πυριτίου, χαλαζία και κρυσταλλικά πλακίδια ημιαγωγών. Με εξειδικευμένη τεχνογνωσία και εξοπλισμό αιχμής, διαπρέπουμε στην επεξεργασία μη τυποποιημένων προϊόντων, με στόχο να γίνουμε μια κορυφαία επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας οπτοηλεκτρονικών υλικών.