Μηχανή στίλβωσης δέσμης ιόντων για ζαφείρι SiC Si

Σύντομη Περιγραφή:

Η μηχανή στίλβωσης και διαμόρφωσης δέσμης ιόντων βασίζεται στην αρχή τηςιοντικός ψεκασμόςΜέσα σε έναν θάλαμο υψηλού κενού, μια πηγή ιόντων παράγει πλάσμα, το οποίο επιταχύνεται σε μια δέσμη ιόντων υψηλής ενέργειας. Αυτή η δέσμη βομβαρδίζει την επιφάνεια του οπτικού εξαρτήματος, αφαιρώντας υλικό σε ατομική κλίμακα για να επιτύχει εξαιρετικά ακριβή διόρθωση και φινίρισμα επιφάνειας.


Χαρακτηριστικά

Λεπτομερές Διάγραμμα

Μηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντων1
Μηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντων2

Επισκόπηση προϊόντος της μηχανής στίλβωσης με δέσμη ιόντων

Η Μηχανή Σχηματισμού και Στίλβωσης με Δέσμη Ιόντων βασίζεται στην αρχή του ψεκασμού ιόντων. Μέσα σε έναν θάλαμο υψηλού κενού, μια πηγή ιόντων παράγει πλάσμα, το οποίο επιταχύνεται σε δέσμη ιόντων υψηλής ενέργειας. Αυτή η δέσμη βομβαρδίζει την επιφάνεια του οπτικού εξαρτήματος, αφαιρώντας υλικό σε ατομική κλίμακα για να επιτύχει εξαιρετικά ακριβή διόρθωση και φινίρισμα επιφάνειας.

Ως διαδικασία χωρίς επαφή, η στίλβωση με δέσμη ιόντων εξαλείφει τη μηχανική καταπόνηση και αποφεύγει τις υποεπιφανειακές ζημιές, καθιστώντας την ιδανική για την κατασκευή οπτικών υψηλής ακρίβειας που χρησιμοποιούνται στην αστρονομία, την αεροδιαστημική, τους ημιαγωγούς και σε εφαρμογές προηγμένης έρευνας.

Αρχή λειτουργίας της μηχανής στίλβωσης με δέσμη ιόντων

Παραγωγή ιόντων
Αδρανές αέριο (π.χ. αργόν) εισάγεται στον θάλαμο κενού και ιονίζεται μέσω ηλεκτρικής εκκένωσης για να σχηματίσει πλάσμα.

Επιτάχυνση & Σχηματισμός Δέσμης
Τα ιόντα επιταχύνονται σε αρκετές εκατοντάδες ή χιλιάδες ηλεκτρονιοβόλτ (eV) και διαμορφώνονται σε μια σταθερή, εστιασμένη κηλίδα δέσμης.

Αφαίρεση Υλικού
Η δέσμη ιόντων ψεκάζει φυσικά άτομα από την επιφάνεια χωρίς να ξεκινά χημικές αντιδράσεις.

Ανίχνευση σφαλμάτων και σχεδιασμός διαδρομής
Οι αποκλίσεις του σχήματος της επιφάνειας μετρώνται με συμβολομετρία. Εφαρμόζονται συναρτήσεις αφαίρεσης για τον προσδιορισμό των χρόνων παραμονής και τη δημιουργία βελτιστοποιημένων διαδρομών εργαλείων.

Διόρθωση κλειστού βρόχου
Οι επαναληπτικοί κύκλοι επεξεργασίας και μέτρησης συνεχίζονται μέχρι να επιτευχθούν οι στόχοι ακρίβειας RMS/PV.

Βασικά χαρακτηριστικά της μηχανής στίλβωσης με δέσμη ιόντων

Συμβατότητα επιφανειών για όλες τις ηλικίες– Επεξεργάζεται επίπεδες, σφαιρικές, ασφαιρικές και ελεύθερες επιφάνειεςΜηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντων3

Εξαιρετικά σταθερός ρυθμός αφαίρεσης– Επιτρέπει τη διόρθωση αριθμών σε υπονανόμετρα

Επεξεργασία χωρίς ζημιές– Χωρίς υποεπιφανειακά ελαττώματα ή δομικές αλλαγές

Συνεπής απόδοση– Λειτουργεί εξίσου καλά σε υλικά ποικίλης σκληρότητας

Διόρθωση χαμηλής/μέσης συχνότητας– Εξαλείφει τα σφάλματα χωρίς να δημιουργεί τεχνουργήματα μέσης/υψηλής συχνότητας

Χαμηλή απαίτηση συντήρησης– Μακροχρόνια συνεχής λειτουργία με ελάχιστο χρόνο διακοπής λειτουργίας

Κύριες τεχνικές προδιαγραφές της μηχανής στίλβωσης με δέσμη ιόντων

Είδος

Προσδιορισμός

Μέθοδος επεξεργασίας Ιοντικός ψεκασμός σε περιβάλλον υψηλού κενού
Τύπος επεξεργασίας Λείανση και στίλβωση επιφανειών χωρίς επαφή
Μέγιστο μέγεθος τεμαχίου εργασίας Φ4000 χιλ.
Άξονες κίνησης 3-άξονα / 5-άξονα
Σταθερότητα αφαίρεσης ≥95%
Ακρίβεια επιφάνειας PV < 10 nm· RMS ≤ 0,5 nm (τυπική RMS < 1 nm· PV < 15 nm)
Δυνατότητα διόρθωσης συχνότητας Αφαιρεί σφάλματα χαμηλής-μεσαίας συχνότητας χωρίς να εισάγει σφάλματα μέσης/υψηλής συχνότητας
Συνεχής λειτουργία 3–5 εβδομάδες χωρίς συντήρηση κενού
Κόστος συντήρησης Χαμηλός

Δυνατότητες επεξεργασίας της μηχανής στίλβωσης με δέσμη ιόντων

Υποστηριζόμενοι τύποι επιφανειών

Απλό: Επίπεδο, σφαιρικό, πρισματικό

Σύνθετο: Συμμετρική/ασύμμετρη ασφαιρική, ασφαιρική εκτός άξονα, κυλινδρική

Ειδικά: Υπερλεπτά οπτικά, οπτικά slat, ημισφαιρικά οπτικά, σύμμορφα οπτικά, πλάκες φάσης, επιφάνειες ελεύθερης μορφής

Υποστηριζόμενα υλικά

Οπτικό γυαλί: Χαλαζίας, μικροκρυσταλλικό, K9, κ.λπ.

Υπέρυθρα υλικά: Πυρίτιο, γερμάνιο, κ.λπ.

Μέταλλα: Αλουμίνιο, ανοξείδωτο ατσάλι, κράμα τιτανίου, κ.λπ.

Κρύσταλλοι: YAG, μονοκρυσταλλικό καρβίδιο του πυριτίου, κ.λπ.

Σκληρά/εύθραυστα υλικά: Καρβίδιο του πυριτίου, κ.λπ.

Ποιότητα επιφάνειας / Ακρίβεια

ΦΒ < 10 nm

RMS ≤ 0,5 nm

Μηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντων6
Μηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντων5

Μελέτες περιπτώσεων επεξεργασίας μηχανής στίλβωσης με δέσμη ιόντων

Περίπτωση 1 – Τυπικός επίπεδος καθρέφτης

Τεμάχιο εργασίας: Επίπεδο χαλαζία D630 mm

Αποτέλεσμα: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm

 标准镜1

Περίπτωση 2 – Ανακλαστικός καθρέφτης ακτίνων Χ

Τεμάχιο εργασίας: Πλακέτα σιλικόνης 150 × 30 mm

Αποτέλεσμα: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; Κλίση 0,13 µrad

x射线反射镜

 

Περίπτωση 3 – Καθρέφτης εκτός άξονα

Τεμάχιο εργασίας: Καθρέφτης εδάφους εκτός άξονα D326 mm

Αποτέλεσμα: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm

离轴镜

Συχνές ερωτήσεις για τα γυαλιά χαλαζία

Συχνές ερωτήσεις – Μηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντων

Ε1: Τι είναι η στίλβωση με δέσμη ιόντων;
Α1:Η στίλβωση με δέσμη ιόντων είναι μια διαδικασία χωρίς επαφή που χρησιμοποιεί μια εστιασμένη δέσμη ιόντων (όπως ιόντα αργού) για την αφαίρεση υλικού από την επιφάνεια ενός τεμαχίου εργασίας. Τα ιόντα επιταχύνονται και κατευθύνονται προς την επιφάνεια, προκαλώντας αφαίρεση υλικού σε ατομικό επίπεδο, με αποτέλεσμα εξαιρετικά λεία φινιρίσματα. Αυτή η διαδικασία εξαλείφει τη μηχανική καταπόνηση και τις ζημιές στο υπόστρωμα, καθιστώντας την ιδανική για οπτικά εξαρτήματα ακριβείας.


Ε2: Τι είδους επιφάνειες μπορεί να επεξεργαστεί η μηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντων;
Α2:ΟΜηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντωνμπορεί να επεξεργαστεί μια ποικιλία επιφανειών, συμπεριλαμβανομένων απλών οπτικών εξαρτημάτων όπωςεπίπεδα, σφαίρες και πρίσματα, καθώς και πολύπλοκες γεωμετρίες όπωςασφαιρών, ασφαιρών εκτός άξονα, καιεπιφάνειες ελεύθερης μορφήςΕίναι ιδιαίτερα αποτελεσματικό σε υλικά όπως οπτικό γυαλί, υπέρυθρη οπτική, μέταλλα και σκληρά/εύθραυστα υλικά.


Ε3: Με ποια υλικά μπορεί να λειτουργήσει η μηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντων;
Α3:ΟΜηχανή στίλβωσης με δέσμη ιόντωνμπορεί να γυαλίσει ένα ευρύ φάσμα υλικών, όπως:

  • Οπτικό γυαλί: Χαλαζίας, μικροκρυσταλλικός, K9, κ.λπ.

  • Υπέρυθρα υλικά: Πυρίτιο, γερμάνιο, κ.λπ.

  • Μέταλλα: Αλουμίνιο, ανοξείδωτο ατσάλι, κράμα τιτανίου, κ.λπ.

  • Κρυσταλλικά υλικά: YAG, μονοκρυσταλλικό καρβίδιο του πυριτίου, κ.λπ.

  • Άλλα σκληρά/εύθραυστα υλικά: Καρβίδιο του πυριτίου, κ.λπ.

Σχετικά με εμάς

Η XKH ειδικεύεται στην ανάπτυξη, παραγωγή και πωλήσεις υψηλής τεχνολογίας ειδικού οπτικού γυαλιού και νέων κρυσταλλικών υλικών. Τα προϊόντα μας εξυπηρετούν οπτικά ηλεκτρονικά, ηλεκτρονικά είδη ευρείας κατανάλωσης και τον στρατό. Προσφέρουμε οπτικά εξαρτήματα από ζαφείρι, καλύμματα φακών κινητών τηλεφώνων, κεραμικά, LT, SIC καρβιδίου πυριτίου, χαλαζία και κρυσταλλικά πλακίδια ημιαγωγών. Με εξειδικευμένη τεχνογνωσία και εξοπλισμό αιχμής, διαπρέπουμε στην επεξεργασία μη τυποποιημένων προϊόντων, με στόχο να γίνουμε μια κορυφαία επιχείρηση υψηλής τεχνολογίας οπτοηλεκτρονικών υλικών.

7b504f91-ffda-4cff-9998-3564800f63d6

  • Προηγούμενος:
  • Επόμενος:

  • Γράψτε το μήνυμά σας εδώ και στείλτε το σε εμάς