Μακροπρόθεσμη σταθερή προμήθεια SiC 8 ιντσών

Προς το παρόν, η εταιρεία μας μπορεί να συνεχίσει να προμηθεύει μικρές παρτίδες πλακιδίων SiC τύπου 8 ιντσών. Εάν χρειάζεστε δείγματα, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μου. Έχουμε μερικά δείγματα πλακιδίων έτοιμα για αποστολή.

Μακροπρόθεσμη σταθερή προμήθεια SiC 8 ιντσών
Μακροπρόθεσμη σταθερή προμήθεια SiC 8 ιντσών ειδοποίηση1

Στον τομέα των ημιαγωγικών υλικών, η εταιρεία έχει σημειώσει σημαντική πρόοδο στην έρευνα και ανάπτυξη κρυστάλλων SiC μεγάλου μεγέθους. Χρησιμοποιώντας τους δικούς της κρυστάλλους σπόρων μετά από πολλαπλούς γύρους διεύρυνσης της διαμέτρου, η εταιρεία έχει αναπτύξει με επιτυχία κρυστάλλους SiC τύπου Ν 8 ιντσών, οι οποίοι λύνουν δύσκολα προβλήματα όπως το ανώμαλο πεδίο θερμοκρασίας, η ρωγμάτωση κρυστάλλων και η κατανομή πρώτων υλών αέριας φάσης στη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SIC 8 ιντσών, και επιταχύνουν την ανάπτυξη κρυστάλλων SIC μεγάλου μεγέθους και την αυτόνομη και ελεγχόμενη τεχνολογία επεξεργασίας. Αυτό ενισχύει σημαντικά την βασική ανταγωνιστικότητα της εταιρείας στη βιομηχανία μονοκρυσταλλικών υποστρωμάτων SiC. Ταυτόχρονα, η εταιρεία προωθεί ενεργά τη συσσώρευση τεχνολογίας και τη διαδικασία της πειραματικής γραμμής παρασκευής υποστρωμάτων καρβιδίου του πυριτίου μεγάλου μεγέθους, ενισχύει την τεχνική ανταλλαγή και τη βιομηχανική συνεργασία σε ανάντη και κατάντη πεδία και συνεργάζεται με τους πελάτες για τη συνεχή βελτίωση της απόδοσης του προϊόντος και προωθεί από κοινού τον ρυθμό της βιομηχανικής εφαρμογής υλικών καρβιδίου του πυριτίου.

Προδιαγραφές DSP SiC τύπου N 8 ιντσών

Αριθμός Είδος Μονάδα Παραγωγή Ερευνα Ανδρείκελο
1. Παράμετροι
1.1 πολυτυπία -- 4H 4H 4H
1.2 προσανατολισμός επιφάνειας ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Ηλεκτρική παράμετρος
2.1 πρόσμιξη -- Άζωτο τύπου n Άζωτο τύπου n Άζωτο τύπου n
2.2 ειδική αντίσταση ωμ · εκατοστά 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Μηχανική παράμετρος
3.1 διάμετρος mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 πάχος μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Προσανατολισμός εγκοπής ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Βάθος εγκοπής mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV μm ≤5 (10mm*10mm) ≤5 (10mm*10mm) ≤10 (10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Τόξο μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Στημόνι μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Δομή
4.1 πυκνότητα μικροσωλήνων ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 περιεκτικότητα σε μέταλλο άτομα/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 Ορθοδοντική Διαταραχή (ΔΔΔ) ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 ΑΠΛΩΝΩ ΧΟΡΤΑ ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Θετική ποιότητα
5.1 εμπρός -- Si Si Si
5.2 φινίρισμα επιφάνειας -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 σωματίδιο γκοφρέτα ≤100 (μέγεθος ≥0,3μm) NA NA
5.4 γρατσουνιά γκοφρέτα ≤5, Συνολικό μήκος ≤200mm NA NA
5.5 Ακρη
σπασίματα/εσοχές/ρωγμές/λεκέδες/μόλυνση
-- Κανένας Κανένας NA
5.6 Περιοχές πολυτύπων -- Κανένας Εμβαδόν ≤10% Εμβαδόν ≤30%
5.7 μπροστινή σήμανση -- Κανένας Κανένας Κανένας
6. Ποιότητα πλάτης
6.1 πίσω φινίρισμα -- C-face MP C-face MP C-face MP
6.2 γρατσουνιά mm NA NA NA
6.3 Ελαττώματα πίσω πλευράς
τσιπς/εσοχές
-- Κανένας Κανένας NA
6.4 Τραχύτητα πλάτης nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Πίσω σήμανση -- Εγκοπή Εγκοπή Εγκοπή
7. Άκρη
7.1 άκρη -- Λοξότμηση Λοξότμηση Λοξότμηση
8. Συσκευασία
8.1 συσκευασία -- Έτοιμο για χρήση σε περιβάλλον Epi με ηλεκτρική σκούπα
συσκευασία
Έτοιμο για χρήση σε περιβάλλον Epi με ηλεκτρική σκούπα
συσκευασία
Έτοιμο για χρήση σε περιβάλλον Epi με ηλεκτρική σκούπα
συσκευασία
8.2 συσκευασία -- Πολυ-γκοφρέτα
συσκευασία κασέτας
Πολυ-γκοφρέτα
συσκευασία κασέτας
Πολυ-γκοφρέτα
συσκευασία κασέτας

Ώρα δημοσίευσης: 18 Απριλίου 2023