Προς το παρόν, η εταιρεία μας μπορεί να συνεχίσει να προμηθεύει μικρές παρτίδες πλακιδίων SiC τύπου 8 ιντσών. Εάν χρειάζεστε δείγματα, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μου. Έχουμε μερικά δείγματα πλακιδίων έτοιμα για αποστολή.


Στον τομέα των ημιαγωγικών υλικών, η εταιρεία έχει σημειώσει σημαντική πρόοδο στην έρευνα και ανάπτυξη κρυστάλλων SiC μεγάλου μεγέθους. Χρησιμοποιώντας τους δικούς της κρυστάλλους σπόρων μετά από πολλαπλούς γύρους διεύρυνσης της διαμέτρου, η εταιρεία έχει αναπτύξει με επιτυχία κρυστάλλους SiC τύπου Ν 8 ιντσών, οι οποίοι λύνουν δύσκολα προβλήματα όπως το ανώμαλο πεδίο θερμοκρασίας, η ρωγμάτωση κρυστάλλων και η κατανομή πρώτων υλών αέριας φάσης στη διαδικασία ανάπτυξης κρυστάλλων SIC 8 ιντσών, και επιταχύνουν την ανάπτυξη κρυστάλλων SIC μεγάλου μεγέθους και την αυτόνομη και ελεγχόμενη τεχνολογία επεξεργασίας. Αυτό ενισχύει σημαντικά την βασική ανταγωνιστικότητα της εταιρείας στη βιομηχανία μονοκρυσταλλικών υποστρωμάτων SiC. Ταυτόχρονα, η εταιρεία προωθεί ενεργά τη συσσώρευση τεχνολογίας και τη διαδικασία της πειραματικής γραμμής παρασκευής υποστρωμάτων καρβιδίου του πυριτίου μεγάλου μεγέθους, ενισχύει την τεχνική ανταλλαγή και τη βιομηχανική συνεργασία σε ανάντη και κατάντη πεδία και συνεργάζεται με τους πελάτες για τη συνεχή βελτίωση της απόδοσης του προϊόντος και προωθεί από κοινού τον ρυθμό της βιομηχανικής εφαρμογής υλικών καρβιδίου του πυριτίου.
Προδιαγραφές DSP SiC τύπου N 8 ιντσών | |||||
Αριθμός | Είδος | Μονάδα | Παραγωγή | Ερευνα | Ανδρείκελο |
1. Παράμετροι | |||||
1.1 | πολυτυπία | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | προσανατολισμός επιφάνειας | ° | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 | <11-20>4±0,5 |
2. Ηλεκτρική παράμετρος | |||||
2.1 | πρόσμιξη | -- | Άζωτο τύπου n | Άζωτο τύπου n | Άζωτο τύπου n |
2.2 | ειδική αντίσταση | ωμ · εκατοστά | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
3. Μηχανική παράμετρος | |||||
3.1 | διάμετρος | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
3.2 | πάχος | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Προσανατολισμός εγκοπής | ° | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 | [1- 100]±5 |
3.4 | Βάθος εγκοπής | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm*10mm) | ≤5 (10mm*10mm) | ≤10 (10mm*10mm) |
3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Τόξο | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Στημόνι | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
4. Δομή | |||||
4.1 | πυκνότητα μικροσωλήνων | ea/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | περιεκτικότητα σε μέταλλο | άτομα/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | ea/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | Ορθοδοντική Διαταραχή (ΔΔΔ) | ea/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | ΑΠΛΩΝΩ ΧΟΡΤΑ | ea/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. Θετική ποιότητα | |||||
5.1 | εμπρός | -- | Si | Si | Si |
5.2 | φινίρισμα επιφάνειας | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
5.3 | σωματίδιο | γκοφρέτα | ≤100 (μέγεθος ≥0,3μm) | NA | NA |
5.4 | γρατσουνιά | γκοφρέτα | ≤5, Συνολικό μήκος ≤200mm | NA | NA |
5.5 | Ακρη σπασίματα/εσοχές/ρωγμές/λεκέδες/μόλυνση | -- | Κανένας | Κανένας | NA |
5.6 | Περιοχές πολυτύπων | -- | Κανένας | Εμβαδόν ≤10% | Εμβαδόν ≤30% |
5.7 | μπροστινή σήμανση | -- | Κανένας | Κανένας | Κανένας |
6. Ποιότητα πλάτης | |||||
6.1 | πίσω φινίρισμα | -- | C-face MP | C-face MP | C-face MP |
6.2 | γρατσουνιά | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Ελαττώματα πίσω πλευράς τσιπς/εσοχές | -- | Κανένας | Κανένας | NA |
6.4 | Τραχύτητα πλάτης | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6.5 | Πίσω σήμανση | -- | Εγκοπή | Εγκοπή | Εγκοπή |
7. Άκρη | |||||
7.1 | άκρη | -- | Λοξότμηση | Λοξότμηση | Λοξότμηση |
8. Συσκευασία | |||||
8.1 | συσκευασία | -- | Έτοιμο για χρήση σε περιβάλλον Epi με ηλεκτρική σκούπα συσκευασία | Έτοιμο για χρήση σε περιβάλλον Epi με ηλεκτρική σκούπα συσκευασία | Έτοιμο για χρήση σε περιβάλλον Epi με ηλεκτρική σκούπα συσκευασία |
8.2 | συσκευασία | -- | Πολυ-γκοφρέτα συσκευασία κασέτας | Πολυ-γκοφρέτα συσκευασία κασέτας | Πολυ-γκοφρέτα συσκευασία κασέτας |
Ώρα δημοσίευσης: 18 Απριλίου 2023