Μακροπρόθεσμη σταθερή παροχή SiC 8 ιντσών

Προς το παρόν, η εταιρεία μας μπορεί να συνεχίσει να προμηθεύει μικρή παρτίδα γκοφρέτες τύπου SiC 8 ιντσών, εάν έχετε ανάγκες δειγμάτων, μη διστάσετε να επικοινωνήσετε μαζί μου. Έχουμε μερικά δείγματα γκοφρέτες έτοιμα για αποστολή.

Μακροπρόθεσμη σταθερή παροχή SiC 8 ιντσών
Μακροπρόθεσμη σταθερή παροχή SiC 8 ιντσών ειδοποίηση1

Στον τομέα των ημιαγωγικών υλικών, η εταιρεία έχει κάνει μια σημαντική ανακάλυψη στην έρευνα και ανάπτυξη κρυστάλλων SiC μεγάλου μεγέθους. Χρησιμοποιώντας τους δικούς της κρυστάλλους μετά από πολλαπλούς γύρους μεγέθυνσης διαμέτρου, η εταιρεία έχει αναπτύξει με επιτυχία κρυστάλλους SiC τύπου N 8 ιντσών, οι οποίοι επιλύουν δύσκολα προβλήματα όπως ανομοιόμορφο πεδίο θερμοκρασίας, ρωγμές κρυστάλλων και κατανομή πρώτων υλών σε αέρια φάση στη διαδικασία ανάπτυξης Κρυστάλλους SIC 8 ιντσών και επιταχύνει την ανάπτυξη κρυστάλλων SIC μεγάλου μεγέθους και την αυτόνομη και ελεγχόμενη τεχνολογία επεξεργασίας. Ενισχύστε σημαντικά την ανταγωνιστικότητα του πυρήνα της εταιρείας στη βιομηχανία υποστρώματος μονοκρυστάλλου SiC. Ταυτόχρονα, η εταιρεία προωθεί ενεργά τη συσσώρευση τεχνολογίας και διαδικασίας πειραματικής γραμμής προετοιμασίας υποστρώματος καρβιδίου του πυριτίου μεγάλου μεγέθους, ενισχύει την τεχνική ανταλλαγή και τη βιομηχανική συνεργασία σε ανάντη και κατάντη τομείς και συνεργάζεται με τους πελάτες για συνεχή επανάληψη της απόδοσης του προϊόντος και από κοινού προάγει τον ρυθμό βιομηχανικής εφαρμογής υλικών καρβιδίου του πυριτίου.

Προδιαγραφές SiC DSP 8 ιντσών τύπου N

Αριθμός Είδος Μονάδα Παραγωγή Ερευνα Ανδρείκελο
1. Παράμετροι
1.1 πολύτυπος -- 4H 4H 4H
1.2 επιφανειακός προσανατολισμός ° <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5 <11-20>4±0,5
2. Ηλεκτρική παράμετρος
2.1 προσμίξεις -- Άζωτο n τύπου Άζωτο n τύπου Άζωτο n τύπου
2.2 αντίσταση ohm ·cm 0,015~0,025 0,01~0,03 NA
3. Μηχανική παράμετρος
3.1 διάμετρος mm 200±0,2 200±0,2 200±0,2
3.2 πάχος μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Προσανατολισμός εγκοπής ° [1- 100]±5 [1- 100]±5 [1- 100]±5
3.4 Βάθος εγκοπής mm 1~1,5 1~1,5 1~1,5
3.5 LTV μm ≤5 (10mm*10mm) ≤5 (10mm*10mm) ≤10 (10mm*10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Τόξο μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Στημόνι μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0,2 Ra≤0,2 Ra≤0,2
4. Δομή
4.1 πυκνότητα μικροσωλήνων ea/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 περιεκτικότητα σε μέταλλο άτομα/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD ea/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD ea/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 ΑΠΛΩΝΩ ΧΟΡΤΑ ea/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Θετική ποιότητα
5.1 εμπρός -- Si Si Si
5.2 φινίρισμα επιφάνειας -- Si-face CMP Si-face CMP Si-face CMP
5.3 σωματίδιο ea/γκοφρέτα ≤100 (μέγεθος≥0,3μm) NA NA
5.4 γρατσουνιά ea/γκοφρέτα ≤5, Συνολικό μήκος≤200mm NA NA
5.5 Ακρη
τσιπς / εσοχές / ρωγμές / λεκέδες / μόλυνση
-- Κανένας Κανένας NA
5.6 Πολυτυπικές περιοχές -- Κανένας Περιοχή ≤10% Περιοχή ≤30%
5.7 μπροστινή σήμανση -- Κανένας Κανένας Κανένας
6. Ποιότητα πλάτης
6.1 πίσω φινίρισμα -- C-face MP C-face MP C-face MP
6.2 γρατσουνιά mm NA NA NA
6.3 Ελαττώματα πίσω άκρης
μάρκες/εσοχές
-- Κανένας Κανένας NA
6.4 Τραχύτητα πλάτης nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Πίσω σήμανση -- Εγκοπή Εγκοπή Εγκοπή
7. Άκρη
7.1 άκρη -- Λοξότμηση Λοξότμηση Λοξότμηση
8. Πακέτο
8.1 συσκευασία -- Epi-ready με κενό
συσκευασία
Epi-ready με κενό
συσκευασία
Epi-ready με κενό
συσκευασία
8.2 συσκευασία -- Πολλαπλή γκοφρέτα
συσκευασία κασέτας
Πολλαπλή γκοφρέτα
συσκευασία κασέτας
Πολλαπλή γκοφρέτα
συσκευασία κασέτας

Ώρα δημοσίευσης: Απρ-18-2023