Κεραμική πλάκα/δίσκος SiC για βάση πλακιδίων 4 ιντσών και 6 ιντσών για ICP

Σύντομη Περιγραφή:

Η κεραμική πλάκα SiC είναι ένα εξάρτημα υψηλής απόδοσης κατασκευασμένο από καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας, σχεδιασμένο για χρήση σε ακραία θερμικά, χημικά και μηχανικά περιβάλλοντα. Γνωστή για την εξαιρετική σκληρότητα, τη θερμική αγωγιμότητα και την αντοχή στη διάβρωση, η πλάκα SiC χρησιμοποιείται ευρέως ως φορέας πλακιδίων, υποδοχέας ή δομικό εξάρτημα σε βιομηχανίες ημιαγωγών, LED, φωτοβολταϊκών και αεροδιαστημικής.

Στείλτε μας email

Χαρακτηριστικά

Περίληψη κεραμικής πλάκας SiC

Με εξαιρετική θερμική σταθερότητα έως 1600°C και εξαιρετική αντοχή σε αντιδραστικά αέρια και περιβάλλοντα πλάσματος, η πλάκα SiC εξασφαλίζει σταθερή απόδοση κατά τη διάρκεια διαδικασιών χάραξης, εναπόθεσης και διάχυσης σε υψηλή θερμοκρασία. Η πυκνή, μη πορώδης μικροδομή της ελαχιστοποιεί την παραγωγή σωματιδίων, καθιστώντας την ιδανική για εξαιρετικά καθαρές εφαρμογές σε περιβάλλοντα κενού ή καθαρού χώρου.

Εφαρμογή κεραμικής πλάκας SiC

1. Κατασκευή ημιαγωγών

Οι κεραμικές πλάκες SiC χρησιμοποιούνται συνήθως ως φορείς πλακιδίων, υποδοχείς και πλάκες βάθρου σε εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών, όπως η CVD (Χημική Εναπόθεση Ατμών), η PVD (Φυσική Εναπόθεση Ατμών) και τα συστήματα χάραξης. Η εξαιρετική θερμική αγωγιμότητά τους και η χαμηλή θερμική διαστολή τους επιτρέπουν να διατηρούν ομοιόμορφη κατανομή θερμοκρασίας, η οποία είναι κρίσιμη για την επεξεργασία πλακιδίων υψηλής ακρίβειας. Η αντοχή του SiC σε διαβρωτικά αέρια και πλάσματα εξασφαλίζει ανθεκτικότητα σε σκληρά περιβάλλοντα, συμβάλλοντας στη μείωση της μόλυνσης από σωματίδια και στη συντήρηση του εξοπλισμού.

2. Βιομηχανία LED – Χάραξη ICP

Στον τομέα της κατασκευής LED, οι πλάκες SiC αποτελούν βασικά εξαρτήματα στα συστήματα χάραξης ICP (Επαγωγικά Συζευγμένο Πλάσμα). Λειτουργώντας ως υποδοχείς πλακιδίων, παρέχουν μια σταθερή και θερμικά ανθεκτική πλατφόρμα για την υποστήριξη πλακιδίων ζαφειριού ή GaN κατά την επεξεργασία με πλάσμα. Η εξαιρετική αντοχή τους στο πλάσμα, η επιπεδότητα της επιφάνειας και η σταθερότητα των διαστάσεων συμβάλλουν στη διασφάλιση υψηλής ακρίβειας και ομοιομορφίας χάραξης, οδηγώντας σε αυξημένη απόδοση και απόδοση της συσκευής στα τσιπ LED.

3. Φωτοβολταϊκά (Φ/Β) και Ηλιακή Ενέργεια

Οι κεραμικές πλάκες SiC χρησιμοποιούνται επίσης στην παραγωγή ηλιακών κυψελών, ιδιαίτερα κατά τα στάδια σύντηξης και ανόπτησης σε υψηλή θερμοκρασία. Η αδράνεια τους σε υψηλές θερμοκρασίες και η ικανότητά τους να αντιστέκονται στη στρέβλωση διασφαλίζουν την συνεπή επεξεργασία των πλακιδίων πυριτίου. Επιπλέον, ο χαμηλός κίνδυνος μόλυνσης που παρουσιάζουν είναι ζωτικής σημασίας για τη διατήρηση της απόδοσης των φωτοβολταϊκών κυψελών.

Ιδιότητες κεραμικής πλάκας SiC

1. Εξαιρετική μηχανική αντοχή και σκληρότητα

Οι κεραμικές πλάκες SiC παρουσιάζουν πολύ υψηλή μηχανική αντοχή, με τυπική αντοχή σε κάμψη που υπερβαίνει τα 400 MPa και σκληρότητα Vickers που φτάνει τα >2000 HV. Αυτό τις καθιστά εξαιρετικά ανθεκτικές στη μηχανική φθορά, την τριβή και την παραμόρφωση, εξασφαλίζοντας μεγάλη διάρκεια ζωής ακόμη και υπό υψηλό φορτίο ή επαναλαμβανόμενους θερμικούς κύκλους.

2. Υψηλή θερμική αγωγιμότητα

Το SiC έχει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα (συνήθως 120–200 W/m·K), επιτρέποντάς του να κατανέμει ομοιόμορφα τη θερμότητα σε όλη την επιφάνειά του. Αυτή η ιδιότητα είναι κρίσιμη σε διεργασίες όπως η χάραξη πλακιδίων, η εναπόθεση ή η πυροσυσσωμάτωση, όπου η ομοιομορφία της θερμοκρασίας επηρεάζει άμεσα την απόδοση και την ποιότητα του προϊόντος.

3. Ανώτερη θερμική σταθερότητα

Με υψηλό σημείο τήξης (2700°C) και χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής (4,0 × 10⁻⁶/K), οι κεραμικές πλάκες SiC διατηρούν την ακρίβεια των διαστάσεων και τη δομική ακεραιότητα υπό ταχείς κύκλους θέρμανσης και ψύξης. Αυτό τις καθιστά ιδανικές για εφαρμογές σε φούρνους υψηλής θερμοκρασίας, θαλάμους κενού και περιβάλλοντα πλάσματος.

Τεχνικές Ιδιότητες
Δείκτης	Μονάδα	Αξία
Όνομα υλικού		Καρβίδιο πυριτίου με πυροσυσσωματωμένη αντίδραση	Πυριτικό καρβίδιο χωρίς πίεση	Ανακρυσταλλωμένο καρβίδιο του πυριτίου
Σύνθεση		RBSiC	SSiC	R-SiC
Φαινόμενη πυκνότητα	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Αντοχή σε κάμψη	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100 (1400°C)
Αντοχή σε θλίψη	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Σκληρότητα	Κνουπ	2700	2800	/
Σπάζοντας την Επιμονή	MPa m1/2	4.5	4	/
Θερμική αγωγιμότητα	Ε/μμ	95	120	23
Συντελεστής θερμικής διαστολής	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Ειδική θερμότητα	Τζάουλ/g 0k	0,8	0,67	/
Μέγιστη θερμοκρασία στον αέρα	℃	1200	1500	1600
Μέτρο ελαστικότητας	Μ.Ο.	360	410	240

Ερωτήσεις και απαντήσεις για κεραμικές πλάκες SiC

Ε: Ποιες είναι οι ιδιότητες της πλάκας καρβιδίου του πυριτίου;

ΕΝΑ: Οι πλάκες καρβιδίου του πυριτίου (SiC) είναι γνωστές για την υψηλή αντοχή, τη σκληρότητα και τη θερμική τους σταθερότητα. Προσφέρουν εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα και χαμηλή θερμική διαστολή, εξασφαλίζοντας αξιόπιστη απόδοση σε ακραίες θερμοκρασίες. Το SiC είναι επίσης χημικά αδρανές, ανθεκτικό σε οξέα, αλκάλια και περιβάλλοντα πλάσματος, καθιστώντας το ιδανικό για επεξεργασία ημιαγωγών και LED. Η πυκνή, λεία επιφάνειά του ελαχιστοποιεί την παραγωγή σωματιδίων, διατηρώντας τη συμβατότητα με καθαρούς χώρους. Οι πλάκες SiC χρησιμοποιούνται ευρέως ως φορείς πλακιδίων, υποδοχείς και εξαρτήματα υποστήριξης σε περιβάλλοντα υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικών σε όλες τις βιομηχανίες ημιαγωγών, φωτοβολταϊκών και αεροδιαστημικής.